[发明专利]一种基于壁虎仿生结构辅助的真空吸附结构及制作方法

权利要求书

1.一种基于壁虎仿生结构辅助的真空吸附结构的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，顶层的壁虎仿生蘑菇状阵列结构的制备：在基材表面旋涂一层厚度为微米级别的光刻胶，利用双面曝光技术在光刻胶上实现壁虎仿生蘑菇状阵列的反型结构，进而采用旋涂工艺在反型结构的光刻胶表面制备一层厚度为微米级别的聚合物弹性体，然后利用超声剥离工艺去除与壁虎仿生蘑菇状结构粘附在一起的光刻胶，实现壁虎仿生蘑菇状阵列结构的制备；

所述的基材为载玻片或Si片，所述的光刻胶为EPG533或AZ系列光刻胶，所述的聚合物弹性体为硅胶或聚氨酯；

第二步，底层的支撑平板的通孔加工：底层的支撑平板的通孔采用机加工的方式制作完成；

第三步，真空吸嘴的定位嵌入：在支撑平板的表面上刮涂或涂覆一层粘附材料，将第一步制备的壁虎仿生蘑菇状阵列结构粘在粘附材料上；按照支撑平板的通孔结构分布除去通孔顶层对应的壁虎仿生的蘑菇状阵列结构及粘附材料，然后将真空吸嘴置于支撑平板的通孔中，并与负压供给装置连接，实现基于壁虎仿生结构辅助的真空吸附结构的制造成型；

所述的一种基于壁虎仿生结构辅助的真空吸附结构，包括底层的支撑平板，支撑平板通过粘附材料和顶层的壁虎仿生蘑菇状阵列结构粘结，支撑平板上设有通孔，除去通孔顶层对应的壁虎仿生蘑菇状阵列结构及粘附材料，通孔中嵌有真空吸嘴，真空吸嘴与负压供给装置相连。

2.根据权利要求1所述的一种基于壁虎仿生结构辅助的真空吸附结构的制作方法，其特征在于：所述的壁虎仿生蘑菇状阵列结构采用硅胶或聚氨酯；所述的粘附材料采用硅胶粘结剂或硅胶胶水，所述的负压供给装置采用真空泵。