[发明专利]真空吸附方法以及真空吸附装置

说明书

一种真空吸附方法以及真空吸附装置，在台(10)内设置中空部(12a)，朝向上表面形成多个贯穿孔(14)。在中空部经由电磁阀(23)对真空泵(24)和加压泵(25)进行连接。而且，将柔性片材(31)输送到台(10)，使真空泵(24)进行动作而变为负压。然后，暂时使用加压泵(25)使中空部内的压力上升，如果达到即将成为大气压之前的规定值，则再次抽吸而使柔性片材(31)吸附于台(10)上。据此，在真空吸附装置中当吸附柔性片材时不会产生褶皱。

技术领域

本发明涉及一种用于划线装置或断开装置等加工柔性片材的装置的、将柔性片材吸附在台上的真空吸附方法以及真空吸附装置。

背景技术

在将脆性材料基板裁剪成规定的形状时使用真空吸附装置。例如在专利文献1中示出了如下装置：在对基板进行划线的划线装置以及断开装置中，将基板吸附在台上，并且在将基板固定在台上之后，使划线轮滚动放进行划线或按压断开杆进行断开。

现有技术文献

专利文献1：WO2004/073946公报

发明内容

发明要解决的技术问题

在使用上述真空吸附装置来加工柔性片材的情况下，当载置于台上并从台以真空的方式吸附柔性片材时，有时由于柔性片材较薄且柔软而会变形。在例如图1的(a)所示那样将柔性片材102载置于台101上的情况下，如果其中央部分与台之间含有空气，则一旦从设于台的多个贯穿孔以负压的方式抽吸，就会存在以下问题：如图1的(b)所示那样有时在柔性片材102的局部产生线状或圆形状的褶皱103。

本发明是着眼于上述现有的真空吸附装置的问题而做出的，其目的在于，即使当加工柔性片材时吸附柔性片材也能够不产生褶皱等，并在台上以真空吸附的方式保持。

解决技术问题的技术方案

为了解决该技术问题，本发明的真空吸附装置具备：台，其具有在内部沿着面而成的中空部，并朝向上表面形成多个贯穿孔，用于载置柔性片材；真空泵，其抽吸空气；加压泵，其加压输送空气；管道，其将所述台内的中空部与所述真空泵以及所述加压泵进行连结；电磁阀，其将所述真空泵以及所述加压泵中的任一方与所述管道进行连结；压力传感器，其检测所述台的中空部内的压力；以及控制器，当所述台上载置有所述柔性片材时，控制器控制为基于所述压力传感器的压力来开闭所述电磁阀并将所述真空泵以及所述加压泵中的任一方与所述中空部连结。

为了解决该技术问题，本发明的真空吸附方法是采用了所述真空吸附装置的真空吸附方法，所述真空吸附方法包括以下步骤：当所述台上载置了柔性片材时将所述管道切换到真空泵一侧，通过驱动真空泵来使所述台的中空部的压力降低；当所述中空部内的压力达到了第一负压时将所述管道切换到所述加压泵一侧来使所述中空部内的压力上升；当所述中空部内的压力达到了第二负压时将所述管道切换到所述真空泵一侧来使所述中空部内的压力降低；以及当所述中空部内的压力达到了第三负压时以维持该第三负压的方式进行控制。

发明效果

根据具有上述技术特征的本发明，能够得到如下效果：输送来柔性片材之后，暂时进行抽吸，再恢复至接近大气压的值之后，再次进行抽吸，因此能够在台上平坦地维持柔性片材，保持没有褶皱。

附图说明

图1的(a)和(b)是示出在现有的真空吸附装置中空气进入柔性片材与台之间的状态以及褶皱产生的状态的图。

图2是示出本实施方式的真空吸附装置的概略图。

图3是示出柔性片材被输送到本实施方式的真空吸附装置的状态的图。

图4的(a)和(b)是示出在本实施方式的真空吸附装置中当输送来柔性片材之后，中空部内的压力的变化的曲线图。

附图标记说明：