[发明专利]真空吸附方法以及真空吸附装置在审
| 申请号： | 201811521775.8 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110014385A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 高松生芳;谷垣内平道 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空吸附装置 柔性片材 中空部 真空吸附 加压泵 真空泵 吸附 褶皱 向上表面 压力上升 电磁阀 贯穿孔 抽吸 负压 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空吸附装置，具备：
台，其在内部具有沿着面而成的中空部，并朝向上表面形成多个贯穿孔，该台用于载置柔性片材；
真空泵，其抽吸空气；
加压泵，其加压输送空气；
管道，其将所述台内的中空部与所述真空泵以及所述加压泵进行连结；
电磁阀，其将所述真空泵以及所述加压泵中的任一方与所述管道进行连结；
压力传感器，其检测所述台的中空部内的压力；以及
控制器，当所述台上载置有所述柔性片材时，该控制器控制为基于所述压力传感器的压力来开闭所述电磁阀并将所述真空泵以及所述加压泵中的任一方与所述中空部连结。
2.一种真空吸附方法，其采用了权利要求1所述的真空吸附装置，
所述真空吸附方法包括以下步骤：
当所述台上载置了柔性片材时将所述管道切换到真空泵一侧，通过驱动所述真空泵来使所述台的中空部的压力降低；
当所述中空部内的压力达到了第一负压时将所述管道切换到所述加压泵一侧来使所述中空部内的压力上升；
当所述中空部内的压力达到了第二负压时将所述管道切换到所述真空泵一侧来使所述中空部内的压力降低；以及
当所述中空部内的压力达到了第三负压时以维持该第三负压的方式进行控制。
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