[发明专利]一种横向元器件制样研磨方法有效

专利信息
申请号: 201811509557.2 申请日: 2018-12-11
公开(公告)号: CN109580305B 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 廉鹏飞;刘相全;孔泽斌;罗宇华;杨亮亮;刘伟鑫;楼建设;徐导进 申请(专利权)人: 上海精密计量测试研究所;上海航天信息研究所
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28
代理公司: 上海航天局专利中心 31107 代理人: 余岢
地址: 201109 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 横向 元器件 研磨 方法
【说明书】:

一种横向元器件制样研磨的方法,该方法步骤如下:步骤一、根据元器件的高度首先确定样品高度,并在制样前于模具内侧标记第一高度,以及第二高度,确保元器件位于样品高度上的中心;步骤二、按要求配置环氧树脂,并将环氧树脂加至模具内的第一高度处;步骤三、待环氧树脂固化后,将元器件横向置于其表面的正中心处;步骤四、再次将环氧树脂加至第二高度,此时元器件位于样品高度上的中心;步骤五、固化后完成制样,新方法与传统制样方法相比,样品体积会有效减小;步骤六、粗磨;步骤七、精磨:使用细砂纸进行精磨,直至形貌达到最佳观测效果;步骤八、抛光:用抛光液及相匹配的抛光布抛光,直至形貌达到最佳观测效果。

技术领域

发明涉及一种横向元器件制样研磨的方法,属于元器件制样镜检领域。

背景技术

DPA(破坏性物理分析)试验是考查一个生产批元器件的制造工艺是否符合规范要求的试验,其结果关系到一个批次元器件的接受与否。DPA试验中的一个重要项目为制样镜检,需要将元器件浇铸在清晰的环氧树脂中,在垂直于引线平面的两个平面研磨样品,以此评价元器件介质叠层质量、引线固定板或箔与固定板的连接,以及浸渍剂进入的程度等。

传统的元器件制样方法如图1所示,包括以下几个步骤。第一步:将标准制样模具放置于制样板上,将元器件竖直立在模具的中心部位,并用夹具将元器件固定住;第二步:将环氧树脂按比例配制好,并注满模具;第三步:经过8小时的静置,环氧树脂凝固,此时制样完成,元器件长边与模具是平行的。

基于标准化的考虑,制样中所采用的圆柱形模具都是标准大小的,因而对于标准大小的模具而言,元器件的横截面面积(有效研磨面积)越小,则环氧树脂的横截面面积(无效研磨面积)越大。也即,采用传统的元器件制样研磨方法,环氧树脂的用量过大,并且样品的研磨时间过长。

发明内容

为了解决传统元器件制样研磨方法的不足,本发明旨在提供一种横向元器件制样研磨方法,该方法与传统的竖向制样方法不同,采用横向制样方法,从而可以有效减小环氧树脂的用量,同时进行横向研磨减少样品的研磨时间,即提高元器件制样研磨的效率。

本发明提供了一种横向元器件制样研磨的方法,该方法步骤如下:

步骤一、根据元器件的高度首先确定样品高度,并在制样前于模具内侧标记第一高度即元器件底面高度,以及第二高度即样品的上表面高度,确保元器件位于样品高度上的中心;

步骤二、按要求配置环氧树脂,并将环氧树脂加至模具内的第一高度处;

步骤三、待环氧树脂固化后,将元器件横向置于其表面的正中心处;

步骤四、再次将环氧树脂加至第二高度,此时元器件位于样品高度上中心;

步骤五、固化后完成制样;

步骤六、粗磨:

步骤七、精磨:

步骤八、抛光。

本发明提供的横向制样研磨方法能够有效提升元器件的制样研磨效率,目前没有发现同本发明类似技术的说明和报道,也尚未收集到国内外类似的资料。本发明通过改进的方法,采用横向制样并进行横向研磨,可以在样品的宽度和高度两个方面同时优化效率,在样品宽度上的优化:初始研磨对象是样品圆形的切面,等研磨到样品中间时才达到样品横截面的宽度最大值,因而初始的研磨宽度极小,可以很快完成粗磨,同时环氧树脂用量更少;在样品高度上的优化:当元器件厚度很小时,由于制样时可以任意选择环氧树脂的高度,因此样品高度很低,环氧树脂用量少,研磨时间短。也即在宽度和高度两个方面,同时减少了环氧树脂的用量并加快了样品研磨速度。

附图说明

图1所示为传统的元器件制样研磨方法示意图;

图2所示为本发明的横向元器件制样研磨方法示意图;

具体实施方式

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