[发明专利]一种OLED触控显示模组的制作方法

说明书

本发明提供了一种OLED触控显示模组的制作方法，包括以下步骤：步骤1：提供封装完成的OLED显示面板；步骤2：通过磁控溅射镀膜系统在所述OLED显示面板上形成触控电极层；步骤3：对所述触控电极层进行蚀刻形成触控电极图案。本发明提供的一种OLED触控显示模组的制作方法通过使得在封装完成的OLED显示面板上镀制触控电极层并蚀刻形成触控电极图案，能够有效避免在制作OLED功能层时需要对已经形成的触控电极图案进行复杂的耐酸、耐碱和耐划伤等保护，从而有效简化了工艺步骤和难度，提高了生产效率。

技术领域

本发明涉及了显示技术领域，特别是涉及了OLED触控显示模组的制作方法。

背景技术

OLED显示技术因具备全固态主动发光、温度特性好、功耗较小、响应快、可弯曲折叠、超轻薄等优点，而得到广泛应用。现有的OLED触控显示模组在集成触摸功能时，多数都是采用在OLED显示面板和盖板之间另外貼附一层触摸屏感应器的方式。但是这样增加了电子产品的重量和厚度，不能满足日趋轻薄化的电子产品设计需求。现也有提出了ON CELL的技术方案，即直接在OLED显示面板的封装盖板或者基板上镀制触控层的方案，但是现有的ON CELL工艺复杂，生产效率低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是能够提供一种OLED触控显示模组的制作方法，简化制作工艺，提高生产效率。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种OLED触控显示模组的制作方法，包括以下步骤：

步骤1：提供封装完成的OLED显示面板；

步骤2：通过磁控溅射镀膜系统在所述OLED显示面板上形成触控电极层；

步骤3：对所述触控电极层进行蚀刻形成触控电极图案。

作为本发明的一种优选方案，所述步骤2包括：

步骤2.1：通过磁控溅射镀膜系统的进片腔和/或缓冲腔去除OLED显示面板和基片架上的附带杂气；

步骤2.2：通过磁控溅射镀膜系统的镀膜腔在所述OLED显示面板上形成触控电极层。

作为本发明的一种优选方案，在所述步骤2.1中，所述进片腔和/或缓冲腔的真空度控制为与所述OLED显示面板的内腔真空度匹配。

作为本发明的一种优选方案，所述进片腔和/或缓冲腔的真空度小于或等于5.0E-2Pa。

作为本发明的一种优选方案，所述OLED显示面板的内腔真空度为-25KPa～-35KPa。

作为本发明的一种优选方案，所述步骤2.2的具体操作为：在磁控溅射镀膜系统的镀膜腔中，通过真空磁控溅射的方式将靶材溅射至所述OLED显示面板上形成触控电极层，其中，所述镀膜腔的加热温度为低于25℃，镀膜过程靶位的温度为低于80℃。

作为本发明的一种优选方案，所述步骤3包括：

步骤3.1：在所述触控电极层上涂布光刻胶。

步骤3.2：对所述光刻胶进行曝光显影形成光刻电极图案；

步骤3.3：使用刻蚀液对所述触控电极层进行蚀刻，形成触控电极图案。

作为本发明的一种优选方案，所述OLED显示面板包括多个子显示面板；所述步骤3之后还包括：

步骤4：将镀制完成触控电极图案后的OLED显示面板切割形成多个OLED触控显示模组半成品；

步骤5：分别去除每个OLED触控显示模组半成品上覆盖于触控电极图案上的光刻胶，形成OLED触控显示模组。

作为本发明的一种优选方案，所述触控电极层形成于所述OLED基板背向所述OLED封装盖板一侧。