[发明专利]方形晶棒磨倒一体机

说明书

本发明公开了一种能够一次性同时完成晶棒四个角的倒角，并且能够实现晶棒两个对侧面同时磨削，提高工作效率，降低成本的方形晶棒磨倒一体机。该方形晶棒磨倒一体机包括机体，所述机体内设置有横向工作通腔；所述横向工作通腔的底部设置有晶棒夹紧装置，所述机体的一端设置有放料窗口；所述机体另一端的两侧均设置有磨削装置以及倒角装置；所述磨削装置位于放料窗口与倒角装置之间；所述磨削装置具有磨削头，所述磨削头延伸到横向工作通腔内；所述倒角装置具有的倒角砂轮延伸到横向工作通腔内。采用该方形晶棒磨倒一体机能够提高晶棒的磨面、倒角效率，同时能够减少定位误差，能够较少硅料的浪费。

技术领域

本发明涉及的晶棒加工，尤其是一种方形晶棒磨倒一体机。

背景技术

众所周知的：多晶硅的硅棒一般为矩形硅棒，单晶硅的硅棒为圆柱形。目前，国内外针对单晶硅棒的切方、磨面和圆角的加工过程，其传统的加工方式是单独的兰道工序，即分别采用三种不同的设备流转完成单晶硅棒的整个加工过程。实际操作时，线开方机通常需要采用粘胶的方式对25根单晶硅棒同时进行开方处理，再将开方后的硅棒单独由外圆磨床进行圆角磨削，最后再送入平面磨床进行表面磨削、抛光。整个加工过程需要三种不同功能的加工设备，硅棒需要频繁地在不同设备之间进行人工搬运，而且加工前的装夹和作为操作一般都有工人完成，这样就带来了定位误差。

在对多晶硅棒进行磨削处理时，现有的磨削装置一般通过夹紧多晶硅棒的一端，对晶棒进行磨面，由于夹紧端无法实现磨面，因此晶棒磨面一端后，需要夹紧另一端对未磨面的一端进行磨面，从而使得加工工艺复杂，加工效率低。

在多晶硅棒进行磨削处理后，由于多晶硅的硅片需要进行倒角，为了减少分别对每片硅片的倒角，因此需要对方形的硅棒进行倒角，现有的硅棒倒角一般是对硅棒的上端的两个角进行倒角，对硅棒进行翻置再对剩下的两个角进行倒角，从而使得加工工艺复杂，加工效率低，加工成本较高。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种能够一次性同时完成晶棒四个角的倒角，并且能够实现晶棒两个对侧面同时磨削，提高工作效率，降低成本的方形晶棒磨倒一体机。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：方形晶棒磨倒一体机，包括机体，所述机体内设置有横向工作通腔；

所述横向工作通腔的底部设置有晶棒夹紧装置，所述机体的一端设置有放料窗口；所述机体另一端的两侧均设置有磨削装置以及倒角装置；所述磨削装置位于放料窗口与倒角装置之间；

所述磨削装置具有磨削头，所述磨削头延伸到横向工作通腔内；所述倒角装置具有的倒角砂轮延伸到横向工作通腔内；

所述倒角装置包括底座，所述底座上设置有滑动箱；所述滑动箱上方设置有驱动电机；所述滑动箱内设置有变速装置，所述变速装置具有转动输入轴以及转动输出轴；所述转动输入轴与驱动电机传动连接，所述转动输出轴的一端设置有锥齿；

所述锥齿的上方和下方均设置有安装架，所述安装架上设置有传动轴；所述传动轴一端设置有从动锥齿，另一端设置有倒角砂轮，所述倒角砂轮上设置有倾斜倒角面；

所述底座固定安装在机体外侧的侧壁上；所述滑动箱滑动安装在底座上；所述转动输出轴穿过机体延伸到横向工作通腔内；

所述磨削装置包括安装座；所述安装座上滑动安装有变速箱；所述变速箱上方设置有磨削驱动电机；所述磨削驱动电机与变速箱传动连接；所述变速箱具有输出传动轴，所述输出传动轴上设置有磨削头，所述磨削头上设置有滚磨砂轮；

所述晶棒夹紧装置，包括底板；所述底板上设置有两个竖向伸缩装置；所述竖向伸缩装置上端设置有支撑板；所述支撑板的两端设置有挡板；所述支撑板上设置有两个滑动夹块；所述支撑板上设置有滑槽；所述滑动夹块下端设置有凸块；