[发明专利]振动测量系统和振动测量方法

权利要求书

1.一种振动测量系统，其特征在于，包括：

发射装置(110)，用于发射探测光束；

光纤耦合装置(130)，所述探测光束通过所述光纤耦合装置(130)分为参考光束和样品光束；

参考臂(120)和反射装置(140)，所述参考光束经过所述参考臂(120)射向所述反射装置(140)；以及

样品臂(150)，所述样品光束经过所述样品臂(150)射向待测样品(220)；

经过所述待测样品(220)反射的所述样品光束和经过所述反射装置(140)反射的所述参考光束经过所述光纤耦合装置(130)后产生携带所述待测样品(220)的振动信息的第一干涉光信号和第二干涉光信号；

频域OCT结构成像装置(160)，用于将所述第一干涉光信号转换为所述待测样品(220)的导航图像；

时域OCT振动测量装置(170)，用于通过所述第二干涉光信号得到所述待测样品(220)的振动测量点的振幅；

所述时域OCT振动测量装置包括：光电探测器(172)，用于将所述第二干涉光信号转换为振动电信号；

锁相放大器(174)，用于接收所述振动电信号，并提取所述振动电信号中强度变化频率与所述待测样品(220)的振动测量点的振动频率一致的组分。

2.如权利要求1所述的振动测量系统，其特征在于，所述发射装置(110)为红外线发射器，所述振动测量系统还包括：

指示灯激光发射装置(180)，用于发射指示光束，所述指示光束经过所述光纤耦合装置后通过的路径与所述样品光束通过的路径相同。

3.如权利要求2所述的振动测量系统，其特征在于，还包括波分复用器(190)，所述探测光束和所述指示光束经过所述波分复用器(190)后进入所述光纤耦合装置(130)。

4.如权利要求1所述的振动测量系统，其特征在于，还包括振动装置(210)，与所述锁相放大器(174)电连接，所述锁相放大器(174)通过所述振动装置(210)控制所述反射装置(140)振动。

5.如权利要求1所述的振动测量系统，其特征在于，所述频域OCT结构成像装置包括光谱仪(162)，所述第一干涉光信号通过所述光谱仪(162)转换为所述待测样品(220)的图像信息。

6.一种基于权利要求1所述的振动测量系统的振动测量方法，其特征在于，包括：

S10，基于频域OCT模式对待测样品(220)进行扫描，以提供导航图像；

S20，基于所述导航图像，确定待测样品(220)的振动测量点；

S30，基于时域OCT模式对所述振动测量点进行振动测量。

7.如权利要求6所述的振动测量方法，其特征在于，所述步骤S20后包括：

S21，移动所述振动测量点使得所述振动测量点位于时域OCT振动测量的目标点位置。

8.如权利要求6所述的振动测量方法，其特征在于，所述步骤S10中，所述导航图像包括沿深度方向扫描的二维图像。