[发明专利]一种高功率激光光源连续稳定性测试系统及方法在审

专利信息
申请号: 201811420106.1 申请日: 2018-11-26
公开(公告)号: CN111220358A 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 彭强;王瑾;朱宝华;高云峰 申请(专利权)人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385 代理人: 汪琳琳
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 功率 激光 光源 连续 稳定性 测试 系统 方法
【说明书】:

本申请实施例属于激光技术领域,涉及一种高功率激光光源连续稳定性测试系统及方法,包括激光发生装置、聚焦镜、光衰减装置及探测装置;所述激光发生装置用于产生激光光源;所述聚焦镜设于所述激光发生装置的输出光路上,对所述激光发生装置产生的激光束进行聚焦;所述光衰减装置接收聚焦后的激光束,并对所述激光束进行至少两路的衰减,以使所述探测装置接收衰减后的激光束,可以有效保护探测装置,防止探测装置的探测面被烧坏,降低了探测装置的老化程度,降低探测装置的维修成本,降低测试检高功率激光光源设备的损耗成本,又保证了数据的准确性,从而为开发高功率激光光源系统提供了可靠的科学依据。

技术领域

本申请涉及激光技术领域,更具体的说,特别涉及一种高功率激光光源连续稳定性测试系统。

背景技术

由于目前研发新型的高功率激光光源不断涌现,功率/能量检测设备也必须不断地更新,这些因素导致检测设备在研发激光光源过程中增加了维修成本和采购成本,并且在生产、质检、研发各个部门,功率、能量检测设备长时间测试激光器老化过程中,因为监测探头在长时间高功率老化出光下,会有轻度和重度老化程度的可能容易频繁烧坏功率或者能量检测设备的探测面,导致经常维修和更换。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术存在的技术问题,提供一种高功率激光光源连续稳定性测试系统,可以降低测试高功率激光光源设备损耗成本,并且还保证了数据的准确性。

为了解决以上提出的问题,本发明实施例提供了如下所述的技术方案:

一种高功率激光光源连续稳定性测试系统,

包括激光发生装置、聚焦镜、光衰减装置及探测装置;

所述激光发生装置用于产生激光光源;

所述聚焦镜设于所述激光发生装置的输出光路上,对所述激光发生装置产生的激光束进行聚焦;

所述光衰减装置接收聚焦后的激光束,并对所述激光束进行至少两路的衰减,以使所述探测装置接收衰减后的激光束。

通过采用上述技术方案,测试过程中对激光束进行至少两路的衰减,使激光能量降低到探测装置的探测面能够承受的范围,可以有效保护探测装置,防止探测装置的探测面被烧坏,降低了探测装置老化程度,降低探测装置的维修成本,降低测试高功率激光光源设备的损耗成本,又保证了数据的准确性,从而为开发高功率激光光源系统提供了可靠的科学依据。

进一步地,所述光衰减装置包括两组衰减镜片,激光束经预设的入射角投射至第一组衰减镜片上,第一组衰减镜片将当前激光束以相同的入射角反射至第二组衰减镜片上,第二组衰减镜片将当前激光束以与投射至第一组衰减镜片的激光束平行的方向反射至探测装置。

通过采用上述技术方案,激光束经过第一组衰减镜片反射至第二组衰减镜片上,然后通过第二组衰减镜片反射至探测装置的探测面上,在经过两组衰减镜片的反射过程中,衰减镜片对激光束进行衰减,大大降低了最终入射到探测装置的探测面的激光束的能量。

进一步地,两组所述衰减镜片的入射光角度均为9-11度。

通过采用上述技术方案,当衰减镜片的入射角度在9-11度之间时,激光的P光和S光达到了较为平衡的状态,此角度变化过大,P光和S光失衡较为严重,稳定性同样也随着变化,准确性下降。

进一步地,所述衰减镜片由红外光学石英材料制成,所述聚焦镜为准直石英材料聚焦镜。

通过采用上述技术方案,石英材料具有耐高温、耐腐蚀的特效,具有高透过率,热稳定性好,适合光束采集,不受环境影响,激光通过衰减镜片反射时,由于衰减镜片的高透射性,能够透射大部分激光,从而在对高功率的激光稳定性进行测试时,两组衰减镜片能够衰减较多的激光能量,以使入射到探测装置的激光能量,达到探测装置能够承受的能量范围。

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