[发明专利]一种偏振无关的滤光片在审
申请号: | 201811401140.4 | 申请日: | 2018-11-22 |
公开(公告)号: | CN111290064A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 苏炎;于光龙;刘哲;李昱;林志强 | 申请(专利权)人: | 福州高意光学有限公司 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20 |
代理公司: | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人: | 李春连 |
地址: | 350000 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 偏振 无关 滤光 | ||
1.偏振无关的滤光片,包括基片,基片上具有多个高折射率膜层、低折射率膜层交替堆叠而成的膜系,其特征在于:所述高折射率膜层的材料的折射率与低折射率膜层材料的折射率的比值小于2。
2.根据权利要求1所述的偏振无关的滤光片,其特征在于:所述高折射率膜层的材料为SiH、SiOxHy或SiH与SiOxHy的混合物。
3.根据权利要求1所述的偏振无关的滤光片,其特征在于:所述的低折射率膜层的材料为Nb2O5、Ta2O5、TiO2、SixNy中的至少一种混合物。
4.根据权利要求1所述的偏振无关的滤光片,其特征在于:所述的基片为二氧化硅材料成型,或者基于二氧化硅材料的有色玻璃成型,或者硅材料成型。
5.根据权利要求1所述的偏振无关的滤光片,其特征在于:所述的高折射率膜层在800~4000nm波长范围内的折射率均大于3,消光系数均小于0.0005。
6.根据权利要求1所述的偏振无关的滤光片,其特征在于:所述基片的一端面面镀设有偏振无关的长波通,另一端面镀设有偏振无光的短波通。
7.根据权利要求1所述的偏振无关的滤光片,其特征在于:所述基片的同一端面上迭加有偏振无光的长短波通,另外一端面镀设有AR增透膜。
8.根据权利要求1所述的偏振无关的滤光片,其特征在于:在0~40度范围内,各个角度下的P光与S光的Cut-ON波长分离小于3nm,典型值小于1nm;各个角度下P光与S光的Cut-OFF波长分离小于3nm,典型值小于1nm。
9.根据权利要求1所述的偏振无关的滤光片,其特征在于:在0~40度范围内,各个角度下P光与S光的FWHM差异小于5nm,典型值小于3nm。
10.根据权利要求1所述的偏振无关的滤光片,其特征在于:其应用于0~40度范围内的角度调谐。
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