[发明专利]一种大体积蜂巢电晕等离子体3D均匀性调节装置

权利要求书

1.一种大体积蜂巢电晕等离子体3D均匀性调节装置，其特征在于，包括第一平板结构(1)，所述第一平板结构(1)端面上设置长度可调节的调节针(2)，所述调节针(2)垂直于第一平板结构(1)，所述调节针(2)的数量为若干，每根调节针(2)周围设置电极针(3)，所述电极针(3)的数量为六根，所述六根电极针(3)与调节针(2)的距离相等，所述电极针(3)垂直于第一平板结构(1)，所述六根电极针(3)组成一个蜂巢单元，每相邻的两根调节针(2)共享六根电极针(3)中的两根，所有的电极针(3)组成蜂巢状多针电极，所述第一平板结构(1)、蜂巢状多针电极和调节针(2)组成放电组合电极。

2.根据权利要求1所述的一种大体积蜂巢电晕等离子体3D均匀性调节装置，其特征在于，所述第一平板结构(1)为圆形平板结构。

3.根据权利要求2所述的一种大体积蜂巢电晕等离子体3D均匀性调节装置，其特征在于，所述电极针(3)为端部倒角的等长等直径的电晕针。

4.根据权利要求3所述的一种大体积蜂巢电晕等离子体3D均匀性调节装置，其特征在于，所述电晕针在第一平板结构(1)上的排列方式为正六边形排列，通过阵列的方式形成蜂巢状多针电极。

5.根据权利要求3所述的一种大体积蜂巢电晕等离子体3D均匀性调节装置，其特征在于，所述蜂巢状多针电极的每个蜂巢单元共享2根电晕针，蜂巢状多针电极整体为正六边形结构，且关于所述第一平板结构(1)的轴线呈对称分布。

6.根据权利要求2所述的一种大体积蜂巢电晕等离子体3D均匀性调节装置，其特征在于，所述第一平板结构(1)端面上位于正六边形中心的位置设置可收缩的固定孔，所述固定孔与调节针(2)匹配。

7.根据权利要求2所述的一种大体积蜂巢电晕等离子体3D均匀性调节装置，其特征在于，还包括第二平板结构(4)，所述第二平板结构(4)为圆型平板结构，第二平板结构(4)的直径大于所述第一平板结构(1)，所述第二平板结构(4)的旋转中心轴与第一平板结构(1)的旋转中心轴重合。