[发明专利]一种衬底材料固定装置及固定方法

权利要求书

1.一种衬底材料固定装置，其特征在于，该固定装置包含金属托，所述金属托中心设置有一圆环状的第一金属台阶，所述衬底材料呈圆形，所述第一金属台阶用于放置所述衬底材料。

2.根据权利要求1所述的衬底材料固定装置，其特征在于，所述第一金属台阶外围还设置有圆环状的第二金属台阶，所述第二金属台阶用于放置金属压圈，所述金属压圈用于覆盖在所述衬底材料上，并限制所述衬底材料与所述金属托的相对位移。

3.根据权利要求2所述的衬底材料固定装置，其特征在于，所述金属压圈为圆环结构，所述金属压圈的厚度小于第二金属台阶及衬底材料之和，且所述金属压圈的宽度与所述第二金属台阶的宽度相匹配。

4.根据权利要求2所述的衬底材料固定装置，其特征在于，所述金属托、第一金属台阶和第二金属台阶的中心重合。

5.根据权利要求2所述的衬底材料固定装置，其特征在于，所述金属托和所述金属压圈均采用钼材料制成。

6.一种衬底材料固定方法，其特征在于，该方法包含，

将金属托及衬底材料放入手操箱中；

将衬底材料放到金属托的第一金属台阶上；

将金属压圈放到金属托的第二金属台阶上，完成衬底材料的固定。

7.根据权利要求6所述的衬底材料固定方法，其特征在于，所述将金属托及衬底材料放入手操箱中之前，该方法还包含，对金属托及衬底材料进行清洗。

8.根据权利要求6所述的衬底材料固定方法，其特征在于，所述将衬底材料放到金属托的第一金属台阶上之后，还包含，确保所述衬底材料在所述金属托上放置平稳。

9.根据权利要求6所述的衬底材料固定方法，其特征在于，所述将金属压圈放到金属托的第二金属台阶上之后，还包含，检查所述金属压圈是否放置平稳。

10.根据权利要求6所述的衬底材料固定方法，其特征在于，该方法还包含，将完成衬底材料固定后的衬底固定装置装入到分子外延设备中，通过分子外延设备对衬底材料固定后的衬底固定装置进行除气处理。