[发明专利]一种筒形卧式碳纳米管沉积炉

权利要求书

1.一种筒形卧式碳纳米管沉积炉，其特征在于：包括反应室、加热室、收集室和驱动装置，所述加热室设置于所述反应室的底部，所述收集室与所述反应室相连通，所述反应室与能够储存催化剂的催化剂料斗相连通，所述反应室通过进气管与外部气源相连通，所述反应室还开设与外部相连通的废气出口；

所述反应室内设置沉积板，所述驱动装置与所述沉积板传动相连，所述驱动装置能够驱动所述沉积板转动，所述加热室设置于所述沉积板的底部，所述加热室内设置加热元件，所述加热元件能够对所述反应室加热；所述反应室的内侧壁上设置隔热层；

所述反应室内还设置刮板，所述刮板连接有提升装置，所述提升装置能够带动所述刮板上下移动，所述刮板的移动方向与所述沉积板的轴线方向相平行，所述刮板能够与所述沉积板抵接。

2.根据权利要求1所述的筒形卧式碳纳米管沉积炉，其特征在于：所述催化剂料斗与所述反应室相连通处还设置翻板，所述催化剂料斗的进料口处设置密封盖，所述催化剂料斗连接有振动器。

3.根据权利要求1所述的筒形卧式碳纳米管沉积炉，其特征在于：所述沉积板连接有转轴，所述驱动装置包括减速电机，所述转轴与所述减速电机的输出轴传动相连。

4.根据权利要求3所述的筒形卧式碳纳米管沉积炉，其特征在于：所述减速电机与主动轮相连，所述转轴与从动轮相连，所述主动轮与所述从动轮通过皮带传动相连。

5.根据权利要求3所述的筒形卧式碳纳米管沉积炉，其特征在于：所述沉积板的底部设置支撑架，所述转轴穿过所述加热室与所述支撑架相连。

6.根据权利要求5所述的筒形卧式碳纳米管沉积炉，其特征在于：所述支撑架与所述加热室之间设置环形支撑座，所述环形支撑座与所述支撑架相对的端面设置V型槽，所述V型槽内设置滚珠，所述滚珠与所述支撑架抵接。

7.根据权利要求1所述的筒形卧式碳纳米管沉积炉，其特征在于：所述反应室内还设置催化剂分配板，所述催化剂分配板连接有分配板提升机构，所述分配板提升机构能够带动所述催化剂分配板上下移动，所述催化剂分配板的移动方向与所述沉积板的轴线方向相平行。