[发明专利]晶圆清洁设备及晶圆生产线

权利要求书

1.一种晶圆清洁设备，用于清洁待清洁晶圆，其特征在于，所述晶圆清洁设备包括清洁主体、夹持组件、清洁组件及防护组件；

所述夹持组件设有夹持工位，所述待清洁晶圆放置于所述夹持工位，且所述夹持组件用于夹持所述待清洁晶圆；

所述清洁组件用于清洁所述待清洁晶圆；

所述清洁主体上开设有清洁槽，所述夹持组件设置于所述清洁槽内；

所述防护组件包括防护罩，所述防护罩活动连接于所述清洁主体，且所述防护罩能够沿第一方向运动，以围绕所述待清洁晶圆，其中，所述第一方向为所述清洁槽的槽口的向外方向。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洁设备，其特征在于，所述防护罩套设于所述清洁槽内，且所述防护罩的外壁靠近所述清洁槽的侧壁设置；

所述防护组件还包括防护驱动件，所述防护驱动件与所述防护罩连接，且能够带动所述防护罩沿所述第一方向所在的直线运动。

3.根据权利要求1所述的晶圆清洁设备，其特征在于，所述防护组件还包括吹气排；

所述吹气排设置于所述清洁槽外，且与所述清洁槽的槽口相对应，所述吹气排能够向所述清洁槽吹送洁净空气；

所述清洁槽的底壁开设有出气口，所述洁净空气可由所述出气口排出所述清洁槽。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的晶圆清洁设备，其特征在于，所述清洁组件包括清洁机构和干燥机构；

所述清洁机构包括清洁摆臂、清洁驱动件及第一清洁喷嘴，所述清洁驱动件、清洁摆臂及第一清洁喷嘴依次连接，且所述清洁驱动件和所述第一清洁喷嘴分别设置于所述清洁摆臂的两端，所述清洁驱动件能够带动所述清洁摆臂转动，以带动所述第一清洁喷嘴运动至所述清洁槽的槽口，且所述第一清洁喷嘴能够向所述待清洁晶圆喷射清洁药剂；

所述干燥机构包括干燥摆臂、干燥驱动件及第一干燥喷嘴，所述干燥驱动件、干燥摆臂及第一干燥喷嘴依次连接，且所述干燥驱动件和所述第一干燥喷嘴分别设置于所述干燥摆臂的两端，所述干燥驱动件能够带动所述干燥摆臂转动，以带动所述第一干燥喷嘴运动至所述清洁槽的槽口，且所述第一干燥喷嘴能够向所述待清洁晶圆喷射干燥气体。

5.根据权利要求4所述的晶圆清洁设备，其特征在于，所述清洁机构还包括第二清洁喷嘴，所述第二清洁喷嘴设置于所述清洁槽的底壁，并能够向所述待清洁晶圆的朝向所述清洁槽底壁的一面喷射清洁药剂；

所述干燥机构还包括第二干燥喷嘴，所述第二干燥喷嘴设置于所述清洁槽的底壁，并能够向所述待清洁晶圆的朝向所述清洁槽底壁的一面喷射干燥气体。

6.根据权利要求1-3任意一项所述的晶圆清洁设备，其特征在于，所述夹持组件包括固定架、多个夹持件及多个承载件；

多个所述夹持件均转动连接于所述固定架的边沿，多个所述承载件均设置于所述固定架的边沿，所述承载件用于承载所述待清洁晶圆，所述固定架与所述清洁槽的底壁转动连接；

所述夹持件具有依次连接的弹性复位部、转动连接部及夹持部，所述转动连接部与所述固定架的边沿转动连接，在所述夹持部夹持所述待清洁晶圆时，所述弹性复位部弹性形变地压缩于所述固定架和所述转动连接部之间，并为所述夹持部提供一个朝向所述固定架的中部转动的力。

7.根据权利要求6所述的晶圆清洁设备，其特征在于，所述夹持组件还包括夹持驱动件；

所述夹持驱动件与所述弹性复位部相对设置，所述夹持驱动件能够推动所述弹性复位部，以带动所述夹持部朝向远离所述固定架的中部转动。

8.根据权利要求1-3任意一项所述的晶圆清洁设备，其特征在于，所述晶圆清洁设备还包括检测控制组件，所述检测控制组件包括相对设置的第一放置检测件和第二放置检测件，所述第二放置检测件与所述夹持组件电连接；

所述第一放置检测件能够向所述第二放置检测件发射激光信号，所述第一放置检测件和所述第二放置检测件间的连线穿过所述夹持工位。