[发明专利]一种深截止窄带滤光片的高精度测试方法

权利要求书

1.一种深截止窄带滤光片的高精度测试方法，其特征在于，所述方法将深截止窄带滤光片的样品沉积在石英基底上，使用分光光度计进行测试，所述方法包括如下步骤：

步骤1：首先选择分光光度计的测试参数m-1个，分别记为变量x₁、x₂、……x_m-1；

步骤2：在每个变量下选择不同的参数，共n个参数，则定义测试参数变量的矩阵X如下：

步骤3：深截止窄带滤光片的性能指标Y_i考核中心波长、峰值透过率、带宽和截止带深度，在此定义分别用Y₁、Y₂、Y₃和Y₄表示；

步骤4：上述的关系表征如下，基于数学的多元线性回归的方法，矩阵β是需要多元回归的矩阵：

步骤5：采用实验设计的方法，确定测试实验的相关参数，分别对设计的参数进行实验测试；

步骤6：对上述多元线性回归进行方差分析，检验测试结果Y_i与测试参数X之间是否存在显著的线性关系，通过检验假设的方法构建检验统计量，在给定的显著性水平α下，确定线性回归关系的显著性；

步骤7：进一步进行偏回归系数的检验，提出对y值影响不显著的参数x，最终确定Y_i和X的多元线性回归方程；对于深截止窄带滤光片的测试而言，参数b₀就是Y_i的估计值，其余参数则是影响测试结果的误差；

所述步骤1中，测试参数包括：积分时间、光强衰减比例、光阑孔径和狭缝宽度。