[发明专利]振动系统的控制装置和工件输送装置

权利要求书

1.一种振动系统的控制装置，其在通过通用的驱动指令对谐振频率不同的两个振动系统进行驱动之际被利用，其特征在于，

该振动系统的控制装置具备：

振幅检测部件，其对各所述振动系统的振动的振幅进行检测；比较部件，其对由这些振幅检测部件检测到的振幅进行比较；以及追踪部件，其以使经由所述比较部件获得的两振幅的偏差成为0的方式追踪所述驱动指令的频率。

2.根据权利要求1所述的振动系统的控制装置，其中，

所述追踪部件包括：控制量计算部，其基于经由所述比较部件获得的振幅的偏差并使用至少比例项和积分项来计算控制量；以及频率调节器，其使频率向与偏差的正负相应的方向增减与所述控制量相应的量。

3.根据权利要求1或2所述的振动系统的控制装置，其中，

该振动系统的控制装置具备：

增益乘法部，其将向所述两个振动系统中的任一者输入的驱动指令乘以增益；以及增益除法部，其将由该振动系统的振幅检测部件检测到的检测信号除以所述增益，由该增益除法部进行了除法后的检测信号向所述比较部件输入。

4.根据权利要求1或2所述的振动系统的控制装置，其中，

该振动系统的控制装置具备将由所述两个振动系统中的任一者的振幅检测部件检测到的检测信号除以增益的增益除法部，由该增益除法部进行了除法后的检测信号向所述比较部件输入。

5.一种工件输送装置，其特征在于，

该工件输送装置具备：

输送部，其以载置着工件的状态输送该工件；以及行波产生部件，其通过合成相位的不同的两个驻波来产生行波，该行波用于使所述输送部挠曲振动，权利要求1～4中任一项所述的振动系统的控制装置被应用于所述行波产生部件中的两个驻波的生成。

6.一种工件输送装置，其特征在于，

该工件输送装置具备：

输送部，其以载置着工件的状态输送该工件；椭圆振动产生部件，其通过合成输送方向和与输送方向交叉并包含铅垂分量在内的方向的两个振动来使所述输送部进行椭圆振动，权利要求1～4中任一项所述的振动系统的控制装置被应用于所述椭圆振动产生部件中的两个振动的生成。