[发明专利]分层晶片检测

权利要求书

1.一种用于评估对象的方法，所述方法包括:

由第一评估模块评估所述对象的区域以提供与所述区域的多个位点相关的第一评估结果；

使用第一评估结果的值和第二评估结果的值之间的映射来查找(a)所述多个位点中不需要由第二评估模块评估的第一位点，以及(b)所述多个位点中需要由第二评估模块评估的第二位点；其中第二评估模块比第一评估模块更可靠；

由第二评估模块评估第二位点以提供第二位点的第二评估结果；

基于第一位点的第一评估结果和基于所述映射来评估第一位点的状态；以及

基于第一位点的所述状态和基于第二位点的第二评估结果提供所述区域的评估。

2.根据权利要求1所述的方法，包括由第二评估模块评估第二位点，而不评估第一位点。

3.根据权利要求1所述的方法，其中第二结果的值分类为需要由第二评估模块评估的不确定类别，以及不需要由第二评估模块评估的至少一个确定类别。

4.根据权利要求3所述的方法，其中第二结果的值分类为需要由第二评估模块评估的不确定类别，以及不需要由第二评估模块评估的至少一个确定类别。

5.根据权利要求3所述的方法，包括：当与第一位点相关的第一评估结果映射到属于所述至少一个确定类别的第二评估结果值时，查找第一位点；以及当与第二位点相关的第一评估结果映射到属于不确定类别的第二评估结果值时，查找第二位点。

6.根据权利要求3所述的方法，其中所述至少一个确定类别包括有缺陷类别和合适类别；其中属于所述有缺陷类别的第二结果的值指示有缺陷的位点；以及其中属于所述合适类别的第二结果的值指示合适的位点。

7.根据权利要求6所述的方法，包括：当与第一位点相关的第一评估结果映射到属于所述合适类别的第二评估结果值时，将第一位点的状态评估为合适的；以及当与第一位点相关的第一评估结果映射到属于所述有缺陷类别的第二评估结果值时，将第一位点的状态评估为有缺陷的。

8.根据权利要求3所述的方法，包括随时间改变至少一个类别的边界。

9.根据权利要求3所述的方法，包括基于施加在所述区域的评估上的时序约束来定义不确定类别。

10.根据权利要求1所述的方法，其中第一评估模块是检测单元，并且第二评估是分析单元。

11.根据权利要求1所述的方法，其中第一评估模块是检测单元，并且第二评估是计量单元。

12.根据权利要求1所述的方法，其中第一评估模块与第二评估的不同之处在于辐射所述对象的辐射频率。

13.一种用于评估对象的非暂时性计算机可读介质，其存储用于以下步骤的指令：

由第一评估模块评估所述对象的区域以提供与所述区域的多个位点相关的第一评估结果；

使用第一评估结果的值和第二评估结果的值之间的映射来查找(a)所述多个位点中不需要第二评估模块评估的第一位点，以及(b)所述多个位点中需要第二评估模块评估的第二位点；其中第二评估模块比第一评估模块更可靠；

由第二评估模块评估第二位点以提供第二位点的第二评估结果；

基于第一位点的第一评估结果和基于所述映射来评估第一位点的状态；以及

基于第一位点的状态和基于第二位点的第二评估结果提供所述区域的评估。

14.根据权利要求13所述的非暂时性计算机可读介质，其存储用于以下步骤的指令：由第二评估模块评估第二位点而不评估第一位点。