[发明专利]一种用于中空回射器的镀膜夹具及其镀膜方法

说明书

本发明公开一种用于中空回射器的镀膜夹具及其镀膜方法；所述镀膜夹具采用三个单片平板通过螺栓和螺母两两垂直紧合在一起，形成和中空回射器的三个面相互平行的等效垂直锥面，在每个单片平板的末端设计一定的止挡部用以夹住每一片回射器的端面，通过调节各螺栓、螺母在各平板上的位置，使所述镀膜夹具能够固定不同尺寸的中空回射器，使得整个装置牢固和方便调节，缩减了工装夹具成本的同时减少了更换夹具的频次；解决现有技术中中空回射器反射镜的镀膜难，镀膜牢固度差的技术问题。

技术领域

本发明属于光学镜片镀膜技术领域，尤其涉及一种用于中空回射器的镀膜夹具及其镀膜方法。

背景技术

随着航空航天和太空测距技术的不断发展，对地面、月球和卫星激光测距的单激光脉冲测距的要求越来越高，激光测距的精度需要达到mm级别。根据当前激光测距的误差分析，消除激光反射镜的误差成为提高测距精度的最佳突破口。而中空回射器反射镜的内表面镀有用于反射光线的金属反射膜，在镀膜过程中对材料的均匀性没有严格要求，可以制作更大的口径成为测距的关键零部件。中空回射器反射镜包括反射镜片以及连接边,反射镜片包括第一镜片、第二镜片以及第三镜片,所述连接边包括第一镜片连接第二镜片的第一连接边,第一镜片连接第三镜片的第二连接边以及第二镜片连接第三镜片的第三连接边；三个反射镜片是两两成90°的垂直关系，这样的一种空心椎体在气相沉积法(PVD)镀膜的过程中就导致无法有效悬挂镀膜和不在同一表面上造成镀膜牢固度不稳定。

中国CN201210143095.3号专利公开了一种工业用三面固定件，包括固定件侧面、固定件主面、固定件底面，所述固定件侧面、固定件主面、固定件底面上设置有第一螺丝孔、第二螺丝孔。本发明技术方案的应用，能安装简单、方便、快速的固定三块工业板材，且在固定过程中，板材不易滑倒在地。该固定件具有三面结构，固定时需要在待固定物品上安装螺栓和螺母，会对带固定的物品造成破坏。

中国CN201520912013.6号专利提供了一种振动夹具，包括具有安装面的夹具主体和通过锁紧结构固定在安装面处的用于固定产品的连接件，夹具主体具有三个与振动设备连接的底面，三个底面两两相邻且两两垂直，夹具主体还具有两两相邻的三个面，三个面中有且仅有一个为安装面，三个面与三个底面分别一一相对，三个所述面分别沿两两垂直的三个方向设置，任一个底面分别与其他两个底面、两个面相邻，通过设置夹具主体、锁紧结构和连接件的重量，使得夹具主体、锁紧结构和连接件的整体的重心与三个底面的距离均相等。本发明提供了一种振动夹具，能够满足多种产品的安装要求；更换方向花费时间少；振动力传递顺序合理；不会因为反复拆装产品而损坏产品。该夹具在安装待测物品时安装方式较为复杂、且不能根据待安装物品的尺寸调节夹具的大小。

中空回射器为中空椎体结构，在气相沉积法镀膜过程中无法有效悬挂；悬挂时难以保证镀膜夹具的中心和镀膜的靶材在同一竖直线上，在镀膜过程中不能做到无死角覆盖基片的每个区域；由于夹具受力不均匀导致不在同一表面上的基片镀膜牢固度不稳定。因此，急需设计一种用于中空回射器的镀膜夹具及其镀膜方法以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种用于中空回射器的镀膜夹具及其镀膜方法，通过一种与中空回射器各面平行的平板夹具固定住每一个面，再把夹具倒置悬挂在真空镀膜室的顶端，底端平面上通过靶材轰击中空回射器基片。由此解决现有技术中中空回射器反射镜的镀膜难，镀膜牢固度差的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：