[发明专利]一种用于中空回射器的镀膜夹具及其镀膜方法有效
| 申请号: | 201811257189.7 | 申请日: | 2018-10-26 |
| 公开(公告)号: | CN109267031B | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
| 发明(设计)人: | 张宇烨;徐小强;刘朝旭 | 申请(专利权)人: | 武汉优光科技有限责任公司 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 祝蓉蓉 |
| 地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新二*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 中空 回射器 镀膜 夹具 及其 方法 | ||
1.一种用于中空回射器的镀膜夹具,其特征在于,包括两两垂直设置的第一平板(1)、第二平板(2)、第三平板(3),所述第一平板(1)的安装面上并排设有第一伸缩槽(4)和第一滑动槽(5),与所述第一伸缩槽(4)相邻的侧面上设有与所述第一伸缩槽(4)连通的第一通槽(6);所述第二平板(2)的安装面上并排设有第二伸缩槽(7)和第二滑动槽(8),与所述第二伸缩槽(7)相邻的侧面上设有与所述第二伸缩槽(7)连通的第二通槽;所述第三平板(3)的安装面上并排设有第三伸缩槽(9)和第三滑动槽(10),与所述第三伸缩槽(9)相邻的侧面上设有与所述第三伸缩槽(9)连通的第三通槽;所述第一伸缩槽(4)、第二伸缩槽(7)、第三伸缩槽(9)内分别设有垂直于所述第一伸缩槽(4)、第二伸缩槽(7)、第三伸缩槽(9)延伸方向并且贯通所述第一通槽(6)、第二通槽、第三通槽的第一螺栓(11)、第二螺栓(12)、第三螺栓(13);所述第一滑动槽(5)、第二滑动槽(8)、第三滑动槽(10)处设有第一螺母、第二螺母、第三螺母;所述第一螺栓(11)与第二螺母相配合用于固定所述第一平板(1)和第二平板(2),所述第二螺栓(12)与第三螺母相配合用于固定所述第二平板(2)和第三平板(3),所述第三螺栓(13)与第一螺母相配合用于固定所述第三平板(3)和第一平板(1);所述第一平板(1)、第二平板(2)、第三平板(3)一端设有用于固定中空回射器的止挡部(14)。
2.根据权利要求1所述的一种用于中空回射器的镀膜夹具,其特征在于,所述第一平板(1)、第二平板(2)、第三平板(3)为铝合金材质。
3.根据权利要求1所述的一种用于中空回射器的镀膜夹具,其特征在于,所述第一伸缩槽(4)、第二伸缩槽(7)、第三伸缩槽(9)边缘开设有坡口、端部开有退刀槽。
4.根据权利要求1所述的一种用于中空回射器的镀膜夹具,其特征在于,所述止挡部(14)为设置在所述第一平板(1)、第二平板(2)、第三平板(3)安装面底部的凸起。
5.根据权利要求1所述的一种用于中空回射器的镀膜夹具,其特征在于,所述第一平板(1)、第二平板(2)、第三平板(3)安装面上设有防滑结构。
6.根据权利要求1所述的一种用于中空回射器的镀膜夹具,其特征在于,所述第一伸缩槽(4)、第一滑动槽(5)贯穿所述第一平板(1),所述第二伸缩槽(7)、第二滑动槽(8)贯穿所述第二平板(2),所述第三伸缩槽(9)、第三滑动槽(10)贯穿所述第三平板(3)。
7.权利要求1-6任一项所述的一种用于中空回射器的镀膜夹具的镀膜方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)根据中空回射器的尺寸,通过数显游标卡尺初步固定各组螺栓螺母位置,通过三组螺栓和螺母将第一平板(1)、第二平板(2)、第三平板(3)两两垂直组合,初步固定,使镀膜夹具呈旋转对称结构;
(2)在每一个两两垂直的内面上粘贴一个反射镜,通过测角仪,45°照射其中一个面,观察测角仪的刻度,通过调整各组螺栓和螺母的力度观察角精度的变化,记录测角仪的刻度,循环交替紧合三组螺栓螺母,直到角精度在允许范围内或者刻度达到一致,然后取出反射镜,更换成中空回射器(15);
(3)在镀膜过程中,在靶材的正上方用三个等长金属细丝绑定,细丝的末端绑定挂钩,用挂钩悬挂镀膜夹具三个面的边缘。
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