[发明专利]一种温控设备用精密控温系统

说明书

本发明公开了一种温控设备用精密控温系统，旨在提供一种可以精密控制的控温系统，其技术方案要点是，包括筒体，所述筒体顶端设有冷却水进口，所述筒体侧壁设有循环液出口，所述循环液出口下方还设有循环液进口，所述筒体底部设有冷却水出口，所述筒体内还设有控温部，所述控温部包括位于筒体靠近冷却水进口设有的进口端盖、位于进口端盖下的第一隔板、位于筒体内的换热管、位于冷却水出口设有的出口端盖、位于筒体内靠近冷却水出口的第二隔板及位于筒体内的加热器。

技术领域

本发明涉及温控设备领域，特别涉及一种温控设备用精密控温系统。

背景技术

现代超精密制造、加工以及仪器测量已进入到纳米、亚纳米甚至皮米的技术水平。随着科学技术的提高，环境因素对这些高、精、尖仪器设备的影响作用也越来越显著。据相关统计，在精密及超精密加工中，近 40%～70%的加工误差来源于机床的热变形，显然以温度为代表的环境参数已经成为制约超精密技术进一步发展的重要因素。

光刻机作为高集成度、高精密制造装备对工作环境要求极为苛刻，因此迫切需要一种高精度温控设备。

目前，公开号为CN108266887A的中国专利公开了一种电加热器，它包括电加热管、壳体和安装板，壳体包括周壁和隔离部件，隔离部件位于周壁内侧，隔离部件与壳体的周壁固定设置；隔离部件具有相对设置的第一侧部和第二侧部，第一侧部具有凹槽，电加热管的一部分位于凹槽；隔离部件的第二侧部、安装板及位于两者之间的壳体的周壁为形成流体腔的一部分壁部，流体腔位于加热管腔和安装腔之间，流体腔与加热管腔通过隔离部件分隔，流体腔与安装腔通过安装板分隔；电加热器包括支架和与支架固定设置的温度保险丝，支架与电加热管固定或接触设置，温度保险丝与电加热管的电路串联。

这种电加热器虽然电加热器的安全性高，且工作寿命长，但是其中的加热部件仅为加热部件，换热器仅为换热器，需把两者串联起来，分别控制，对提高控温精度有局限性。

发明内容

本发明的目的是提供一种温控设备用精密控温系统，其具有实现循环液降温与加热通过一套设备实现，替代了加热器和换热器组合串联式结构，简化流程，降低成本的优点。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种温控设备用精密控温系统，包括筒体，所述筒体顶端设有冷却水进口，所述筒体侧壁设有循环液出口，所述循环液出口下方还设有循环液进口，所述筒体底部设有冷却水出口，所述筒体内还设有控温部，所述控温部包括位于筒体靠近冷却水进口设有的进口端盖、位于进口端盖下的第一隔板、位于筒体内的换热管、位于冷却水出口设有的出口端盖、位于筒体内靠近冷却水出口的第二隔板及位于筒体内的加热器。

通过采用上述技术方案，实现了一器三功能：加热、换热和储液，采用换热管和隔板中层的区域，把冷却水和循环液隔开，通过换热管实现两种液体的热传递，而布置在循环液的加热器，对循环液加热实现温度补偿和升温工作，同时循环液可以在腔体里实现暂存，实现储液功能，实现循环液降温与加热同时实现，替代了加热通和换热器组合串联式结构，简化流程，降低成本。

进一步设置：所述第一隔板与进口端盖相对于筒体同轴，所述第二隔板与出口端盖相对于筒体同轴。

通过采用上述技术方案，第一隔板与进口端盖以及第二隔板与出口端盖这两组之间的间距相等，从而可以更为精确的控制换热情况。

进一步设置：所述加热器布置于筒体同轴位置，加热器底部同轴贯穿密封配合的第二隔板及出口端盖，所述加热器位于第二隔板与进口端盖之间。

通过采用上述技术方案，加热器底部为非加热区域，并同轴贯穿密封配合第二隔板、出口端盖，同时加热器加热区域仅在第二隔板和进口端盖之间区域，便于热量的控制。

进一步设置：所述换热管两端分别与第一隔板和第二隔板焊接。