[发明专利]气体分析装置

说明书

本发明提供一种气体分析装置，能够降低干涉噪声。该气体分析装置分析待测气体中包含的成分，具备：向待测气体照射激光的发光部；接收通过待测气体后的激光的光接收部；使配置在激光通过的光路上的至少一个光学元件移动从而改变激光的光路长度的驱动部；以及基于光学元件的位置相差激光波长的n/2(n为整数)的2个状态下由光接收部检测出的各个信号，计算待测气体的浓度的计算部。

技术领域

本发明涉及气体分析装置。

用激光吸收分光法来测定气体浓度的气体分析装置已被公众所知。在气体分析装置中，将测定气氛夹在中间的光源部与光接收部之间的光路上设有多个光学元件。由于激光具有相干性，因此在光学元件之间会发生光的多重反射而产生干涉光。干涉光叠加在测定光上成为干涉噪声。为了减少干涉光的产生，已知有使聚光透镜沿着光轴方向随机微动的技术(例如参照专利文献1)。但是，仅仅使聚光透镜等随机微动并不容易降低干涉。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2008-70314号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在气体分析装置中，希望降低干涉噪声。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明的第一方式提供一种气体分析装置。气体分析装置可以分析待测气体中包含的成分。气体分析装置可以具备发光部。发光部可以向待测气体照射激光。气体分析装置可以具备光接收部。光接收部可以接收通过待测气体后的激光。气体分析装置可以具备驱动部。驱动部可以移动至少一个光学元件，使激光的光路长度改变。光学元件可以配置在供激光通过的光路上。气体分析装置可以具备计算部。计算部可以基于光学元件的位置相差激光波长的n/2倍(其中，n为整数)的2个状态下由光接收部检测出的各个信号，来计算待测气体的浓度。

发光部可以具有发光元件。光接收部可以具有光接收元件。驱动部可以使发光元件和光接收元件中的至少一方移动。

驱动部可以使光学元件以激光波长的n/2倍的振幅移动。

光接收部可以与驱动部使光学元件移动的周期同步地测定激光的强度。

发光部可以具有发光波长不同的多个发光元件。驱动部可以使光接收元件移动。

发光部可以选择任意发光元件并使其发光。驱动部可以使光接收元件以与正在发光的发光元件的发光波长相应的振幅移动。

发光部可以依次选择发光元件并使其发光。驱动部可以使光接收元件依次移动到与正在发光的发光元件的发光波长相应的位置上。

发光部可以还具有散热部。散热部可以使发光元件散热。驱动部可以使光接收元件移动。

发光部可以具有散热部。散热部可以使发光元件散热。发光部可以具有连接部。连接部可以不固定发光元件与散热部的相对位置，而是在发光元件与散热部之间进行热连接。驱动部可以使发光元件移动。

光接收部可以具有电路基板。电路基板上可以设置放大器。放大器可以对光接收元件输出的信号进行放大。驱动部可以使光接收元件和电路基板移动。

驱动部可以用三角波控制表示光学元件移动的位置的振动波形。

驱动部可以用矩形波控制表示光学元件移动的位置的振动波形。

上述发明的概要并不是对本发明的所有必要特征的列举。这些特征组的变形也可以构成发明。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1中的气体分析装置100的简要结构的剖视图。

图2是表示发光部30的一个示例剖视图。