[发明专利]气体分析装置有效
申请号: | 201811250399.3 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN109975240B | 公开(公告)日: | 2023-10-10 |
发明(设计)人: | 谷口裕;小泉和裕;山内芳准 | 申请(专利权)人: | 富士电机株式会社 |
主分类号: | G01N21/39 | 分类号: | G01N21/39;G01N21/01 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张鑫;俞丹 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体 分析 装置 | ||
1.一种气体分析装置,对待测气体中包含的成分进行分析,该气体分析装置的特征在于,包括:
发光部,该发光部向所述待测气体照射激光;
光接收部,该光接收部接收通过所述待测气体后的所述激光;
驱动部,该驱动部使配置在供所述激光通过的光路上的至少一个光学元件移动,从而改变所述激光的光路长度;以及
计算部,该计算部基于在所述光学元件的位置相差所述激光的波长的n/2倍的2个状态下由所述光接收部检测出的各个信号,来计算所述待测气体的浓度,其中,n为整数。
2.如权利要求1所述的气体分析装置,其特征在于,
所述发光部具有发光元件,
所述光接收部具有光接收元件,
所述驱动部使所述发光元件和所述光接收元件中的至少一方移动。
3.如权利要求1或2所述的气体分析装置,其特征在于,
所述驱动部使所述光学元件以所述激光的波长的n/2倍的振幅移动。
4.如权利要求3所述的气体分析装置,其特征在于,
所述光接收部与所述驱动部使所述光学元件移动的周期同步地测定所述激光的强度。
5.如权利要求2所述的气体分析装置,其特征在于,
所述发光部具有发光波长不同的多个所述发光元件,
所述驱动部使所述光接收元件移动。
6.如权利要求5所述的气体分析装置,其特征在于,
所述发光部选择任意所述发光元件并使其发光,
所述驱动部使所述光接收元件以与正在发光的所述发光元件的发光波长相应的振幅移动。
7.如权利要求5所述的气体分析装置,其特征在于,
所述发光部依次选择所述发光元件并使其发光,
所述驱动部使所述光接收元件依次移动到与正在发光的所述发光元件的发光波长相应的位置上。
8.如权利要求2所述的气体分析装置,其特征在于,
所述发光部还具有使所述发光元件散热的散热部,
所述驱动部使所述光接收元件移动。
9.如权利要求2所述的气体分析装置,其特征在于,
所述发光部具有:
散热部,该散热部使所述发光元件散热;以及
连接部,该连接部使所述发光元件和所述散热部的相对位置不固定,而在所述发光元件和所述散热部之间进行热连接,
所述驱动部使所述发光元件移动。
10.如权利要求2所述的气体分析装置,其特征在于,
所述光接收部还具有电路基板,该电路基板上设有对所述光接收元件输出的信号进行放大的放大器,
所述驱动部使所述光接收元件和所述电路基板移动。
11.如权利要求1至10的任一项所述的气体分析装置,其特征在于,
所述驱动部用三角波控制表示所述光学元件移动的位置的振动波形。
12.如权利要求1至10的任一项所述的气体分析装置,其特征在于,
所述驱动部用矩形波控制表示所述光学元件移动的位置的振动波形。
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