[发明专利]具有无载体的光学干涉滤波器的微透镜

说明书

本公开涉及一种装置(10，12)以及一种用于制造装置(10，12)的方法。其中，该装置(10，12)主要包括具有光探测器(12)的基底(11)和布置在基底(11)上的介电质(18)。该装置(10，12)还包括布置在介电质(18)的第一侧(18a)上的微透镜(13)，该微透镜被构造用于将射入的射线(14)偏转到光探测器(12)上。此外，该装置(10，12)包括无载体的光学的干涉滤波器(15)，其中，微透镜(13)布置在光探测器(12)与干涉滤波器(15)之间，并且干涉滤波器(15)在背离光探测器(12)的侧(15a)上具有平坦的表面(17)。

技术领域

本公开涉及一种具有微透镜和无载体的光学干涉滤波器的装置以及涉及一种用于制造该装置的方法，特别是涉及光学传感器的光学的片上干涉滤波器与微透镜的集成。

背景技术

目前，干涉滤波器被外置地制造在单个的载体、例如单独的玻璃薄板上，并且在光学传感器和微透镜上方被装入到光学系统中。然而，集成单独的外部载体与光学系统实现起来是困难并耗时的，并且是高成本的。

发明内容

因此，希望提供改进的装置以及用于制造该装置的方法，以能够容易并且低成本地进行集成。

这例如可以通过根据本公开所述的装置以及方法来实现。本公开描述了可考虑的实施例。

附图说明

实施例在附图中示出并且在下文中说明。附图中：

图1A示出根据本公开的装置的实施例的侧视图，

图1B示出了装置的实施例在安装干涉滤波器之前的侧视图，

图1C示出了图1A的装置的实施例在安装干涉滤波器之后的侧视图，

图2示出根据本公开的方法的实施例的方框图，

图3A示出了具有附加材料层的装置的实施例在安装干涉滤波器之前的侧视图，

图3B示出了图3A的装置在去除附加的材料层之后并且在安装干涉滤波器之前的侧视图，

图3C示出了图3B的装置在安装干涉滤波器之后的侧视图，

图4A示出具有带有拱形的微透镜表面的微透镜的实施例的侧视图，

图4B示出了图4A的具有附加材料层的装置在安装干涉滤波器之前的侧视图，

图4C示出了图4B的装置在保留附加材料层的情况下安装干涉滤波器之后的侧视图，

图5A示出具有带有拱形的微透镜表面的微透镜的实施例的侧视图，

图5B示出了图5A的装置在安装干涉滤波器之前具有附加材料层和布置该材料层上的滤波器支撑结构的侧视图，

图5C示出了图5B的装置在将滤波器支撑结构结构化之后的侧视图，

图5D示出了图5C的装置在去除滤波器支撑结构下方的附加材料层之后的侧视图，

图5E示出了图5D的装置在安装干涉滤波器之后的侧视图，

图6A示出具有带有平坦的微透镜表面的微透镜和悬挑的滤波器支撑结构的装置的侧视图，

图6B示出具有带有拱形的微透镜表面的微透镜和悬挑的滤波器支撑结构的装置的侧视图，

图7A示出了在布置微透镜之前的具有干涉滤波器的可备选的装置的侧视图，

图7B示出了图7A的装置具有布置在其上的微透镜的侧视图。

具体实施方式

下面参考附图详细地说明优选的实施例，其中具有相同的或类似的功能的元件设置有相同的附图标记。