[发明专利]确定测量通道的流体介质参数的传感器组件及其制造方法

权利要求书

1.用于确定流经测量通道(112)的流体介质的至少一个参数的传感器组件(110)，其中，所述传感器组件(110)具有：器具壳体(114)，布置在所述测量通道(112)中的传感器芯片(122)以及至少一个布置在所述器具壳体(114)的电子部件室(118)，其中，所述传感器芯片(122)被集成到传感器单元(120)中，其中，所述传感器单元(120)被安置在电子部件模块(124)上，该电子部件模块布置在所述电子部件室(118)内部，其中，所述传感器单元(120)至少部分地布置在所述测量通道(112)中，其中，所述传感器芯片(122)材料锁合地和/或形状锁合地嵌入到所述传感器单元(120)的至少一个物料(126)中，

其特征在于，所述传感器单元(120)包括至少一个导体薄膜(142)，该导体薄膜包括至少一个印制导线(154)和至少一个接头金属化部(156)，所述至少一个接头金属化部与所述至少一个印制导线(154)电连接并且相对于至少一个电触点地构造，所述电触点设置成用于实现所述传感器单元(120)和所述电子部件模块(124)之间的可电连接性，其中，所述传感器芯片(122)被放置到所述导体薄膜(142)上并且与所述印制导线(154)电连接，其中，所述传感器单元(120)的所述物料(126)材料锁合地和/或形状锁合地附接到所述导体薄膜(142)上。

2.根据权利要求1所述的传感器组件(110)，其中，所述传感器单元(120)具有至少一个窗(150)，通过该窗能接近测量表面(128)。

3.根据权利要求2所述的传感器组件(110)，其中，所述测量表面(128)是膜片的表面，其中，所述传感器单元(120)具有至少一个开口，通过该开口能接近所述膜片的与所述测量表面相对置的侧。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器组件(110)，其中，所述传感器单元(120)构型为能表面装配的构件(132)，其中，所述能表面装配的构件(132)被施加到所述电子部件模块(124)的电路载体(130)上。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器组件(110)，其中，所述传感器芯片(122)至少部分地嵌入在所述导体薄膜(142)和所述传感器单元(120)的所述物料(126)之间。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器组件(110)，其中，所述传感器单元(120)按照从下列方法组成的组中选择的方法制造：薄层辅助模塑方法；面板级封装方法。

7.根据权利要求2或3所述的传感器组件(110)，其中，所述传感器单元(120)具有至少一个加厚部，其中，所述加厚部被安置在所述测量表面(128)的外边缘上。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器组件(110)，其中，所述参数是内燃机的吸入空气质量。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器组件(110)，其中，所述器具壳体(114)构造为已置入或能置入到流动管道中的插接式探测器(116)。