[发明专利]液态试剂监测系统及方法

说明书

本公开涉及一种液态试剂监测系统及方法。该系统包括：重量监测装置，用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；容量检测装置，用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及报警装置，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。本公开涉及的液态试剂监测系统及方法，能够在液态试剂不满足安全条件时给出警告信息，从而提高机台利用率，预防光刻胶管路空管导致产品的报废。

技术领域

本公开涉及芯片制造领域，具体而言，涉及一种液态试剂监测系统及方法。

背景技术

试剂，又称生物化学试剂或试药。主要是实现化学反应、分析化验、研究试验、教学实验、化学配方使用的纯净化学品。一般按用途分为通用试剂、高纯试剂、分析试剂、仪器分析试剂、临床诊断试剂、生化试剂、无机离子显色剂试剂等。

在芯片制造中，经常需要用到的液态试剂为光刻胶，光刻胶是一个用在许多工业制程上的光敏材料。光刻胶根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶；反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这种性能，将光刻胶作涂层，就能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。

光刻胶是一种感光介质，因而上述承载光刻胶剂所用的光刻胶瓶均为不透明的塑料瓶或者玻璃瓶，从而使得工作人员很难观察每瓶光刻胶的剩余量，无法对光刻胶瓶内光刻胶的剩余状态进行监控，给生产带来了不便。而且，光刻胶随着使用被消耗，如果不能及时的对光刻胶进行替换会导致产品质量出现严重的问题。但是现有技术中暂时没有对光阻瓶内的光阻剂进行监控的方案。

因此，需要一种新的液态试剂监测系统及方法。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

有鉴于此，本公开提供一种液态试剂监测系统及方法，能够在液态试剂不满足安全条件时给出警告信息，从而提高机台利用率，预防光刻胶管路空管导致产品的报废。

本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。

根据本公开的一方面，提出一种液态试剂监测系统，该系统包括：重量监测装置，用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；容量检测装置，用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及报警装置，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

在本公开的一种示例性实施例中，所述重量监测装置包括：电子磅秤、模数转换器、以及通信线路；其中，所述电子磅秤位于所述液态试剂瓶底部。

在本公开的一种示例性实施例中，所述容量检测装置包括：容量传感器和通信线路；其中，所述容量传感器放置于所述蓄液箱内，所述容量传感器放置于所述蓄液箱底部。

在本公开的一种示例性实施例中，所述报警装置包括：判断模块，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件；以及警告模块，用于在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

在本公开的一种示例性实施例中，所述判断模块包括：第一判断单元，用于判断所述重量数据是否小于第一阈值，在所述重量数据小于第一阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件；以及第二判断单元，用于判断所述容量数据是否小于第二阈值，在所述容量数据小于第二阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第二安全条件。