[发明专利]一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法

权利要求书

1.一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法，其特征在于：包括以下步骤，

S10、利用飞秒红外激光对金属的表面进行扫描，去除金属表面的氧化层；

S20、利用飞秒红外激光对经过去除氧化层的金属表面进行扫描，对金属表面进行初步抛光；

S30、利用纳秒绿光激光对经过初步抛光后的金属表面进行扫描，对金属表面进行最终抛光；纳秒绿光激光的参数为，绿光波长：515~532nm，脉宽：50~100ns，频率：100~300KHZ，功率：7.7W；纳秒绿光激光的扫描速度为1000mm/s，离焦：0.9mm，填充间距为5µm，扫描次数为8次。

2.如权利要求1所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法，其特征在于：所述步骤S10中的飞秒红外激光的参数为，红外波长：1030~1064nm，脉宽：50~900fs，频率：50~1000KHz，能量密度：4~6J/cm²。

3.如权利要求1所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法，其特征在于：所述步骤S10中，飞秒红外激光的扫描速度为280mm/s，填充间距为2~4µm，扫描次数为8次。

4.如权利要求1所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法，其特征在于：所述步骤S20中的飞秒红外激光的参数为，红外波长：1030~1064nm，脉宽：50~900fs，频率：50~1000KHz，能量密度：0.2~0.3J/cm²。

5.如权利要求1所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法，其特征在于：所述步骤S20中，飞秒红外激光的扫描速度为200~400mm/s，填充间距为4~5µm，扫描次数为4次。

6.如权利要求1~5任一项所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法，其特征在于：所述飞秒红外激光及纳秒绿光激光以20*20cm的范围大小对金属的表面进行扫描。

7.如权利要求1所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法，其特征在于：在所述步骤S10之前还包括，将待抛光金属的表面进行清洗，去除待抛光金属表面的油渍。