[发明专利]扫描探针针尖的制备装置在审
| 申请号： | 201811161314.4 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110967527A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 高思田;朱振东;李伟;施玉书;李琪;李适 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01Q70/16 | 分类号： | G01Q70/16;G01Q70/12;G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 针尖 制备 装置 | ||
1.一种扫描探针针尖的制备装置(300)，其特征在于，包括：
驱动结构(310)，设置有夹具(311)，所述夹具(311)用以夹住探针前躯体(312)移动；
反应器(320)，设置有电腐蚀液，用以通过所述驱动结构(310)驱动所述夹具(311)在所述反应器(320)中移动所述探针前躯体(312)。
2.如权利要求1所述的扫描探针针尖的制备装置(300)，其特征在于，所述驱动结构(310)包括：
步进电机(313)；
压电陶瓷块(314)，与所述步进电机(313)连接，用以形成一个驱动联合体驱动所述夹具(311)在所述反应器(320)中移动所述探针前躯体(312)。
3.如权利要求1所述的扫描探针针尖的制备装置(300)，其特征在于，所述扫描探针针尖的制备装置(300)还包括：
冷淋结构(327)，设置于所述反应器(320)的管壁周围，用以确保所述反应器(320)内的温度恒定。
4.如权利要求1所述的扫描探针针尖的制备装置(300)，其特征在于，所述扫描探针针尖的制备装置(300)还包括：
固定台(350)，用以放置支撑所述驱动结构(310)与所述反应器(320)；
固定架(360)，设置于所述固定台(350)，且所述固定架(360)的高度高于所述反应器(320)，用以固定支撑所述驱动结构(310)。
5.如权利要求4所述的扫描探针制备装置(100)，其特征在于，所述扫描探针制备装置(100)还包括：
位移移动台(340)，设置于所述固定台(350)，用于调节所述反应器(320)的位置。
6.如权利要求5所述的扫描探针针尖的制备装置(300)，其特征在于，所述扫描探针针尖的制备装置(300)还包括：
反应器固定槽(330)，设置于所述位移移动台(340)，且所述反应器固定槽(330)的槽壁(331)包围形成一个反应器容纳空间(332)，用以放置所述反应器(320)。
7.如权利要求1所述的扫描探针针尖的制备装置(300)，其特征在于，所述反应器(320)为U形连通反应器。
8.如权利要求7所述的扫描探针针尖的制备装置(300)，其特征在于，所述扫描探针针尖的制备装置(300)还包括：
第一密封板(321)，与所述反应器(320)的第一端口(323)固定连接，且所述第一密封板(321)设置有小孔(324)，用以使得所述探针前躯体(312)进出所述反应器(320)；
第二密封板(325)，与所述反应器(320)的第二端口(326)固定连接，用以对所述反应器(320)密封。
9.如权利要求1所述的扫描探针针尖的制备装置(300)，其特征在于，所述扫描探针针尖的制备装置(300)还包括：
电极(370)，设置于所述反应器(320)的所述电腐蚀液中；
电源控制模块(380)，所述电源控制模块(380)一端与所述电极(370)电连接，所述电源控制模块(380)的另一端与所述探针前躯体(312)电连接，用以检测经过所述探针前躯体(312)的电流。
10.如权利要求9所述的扫描探针制备装置(100)，其特征在于，所述扫描探针制备装置(100)还包括：
采样电阻(381)，所述采样电阻(381)一端与所述探针前躯体(312)电连接，所述采样电阻(381)的另一端与所述电源控制模块(380)电连接，用以检测经过所述金属丝(312)的电流。
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