[发明专利]双电机冷却装置和引线键合机运动平台系统

说明书

本发明涉及一种双电机冷却装置和引线键合机运动系统，其中双电机冷却装置，包括分别与第一直线电机和第二直线电机导通的第一导气管和第二导气管，第一导气管和第二导气管相互导通后共用一个出气管，出气管的出口朝向远离第一直线电机和第二直线电机的方向，出气管上设有抽风装置，能够使得第一导气管和第二导气管中形成负压，将第一直线电机和第二直线电机运作过程中产生的热量抽走，最后经过出气管排向远离第一直线电机和第二直线电机的方向。避免了抽风冷却产生各个方向的气流，影响机器的性能。出气管的出口朝向远离第一直线电机和第二直线电机的方向，从而有效避免了抽出的热空气再次进入工作区，影响冷却效果。

技术领域

本发明涉及半导体加工领域，特别是涉及一种双电机冷却装置和引线键合机运动平台系统。

背景技术

引线键合机作为半导体生产中的关键设备，主要通过金属引线将芯片焊盘与封装管脚进行连接。若引线键合机中的直线电机温度较高将会影响电机线圈的使用寿命，且基于引线键合机的使用特点，直线电机工作频率较高，导致产生的热量较多。而且，引线键合机对于工作环境要求较高，一般的冷却方式产生的气流对工作环境具有较大影响。

发明内容

基于此，有必要提供一种双电机冷却装置和引线键合机运动平台系统，减少了直线电机冷却过程中气流对工作环境的不利影响。

一种双电机冷却装置，包括分别与第一直线电机和第二直线电机导通的第一导气管和第二导气管，所述第一导气管和第二导气管相互导通后共用一个出气管，所述出气管的出口朝向远离第一直线电机和第二直线电机的方向，所述出气管上设有抽风装置，能够使得所述第一导气管和第二导气管中形成负压。

上述方案提供了一种双电机冷却装置，通过设置所述抽风装置，在所述第一导气管和第二导气管中形成负压，将第一直线电机和第二直线电机运作过程中产生的热量抽走，最后经过所述出气管排向远离第一直线电机和第二直线电机的方向。从而有效避免了冷却过程中产生的气流对工作区运动平台的影响。具体地，避免了抽风冷却产生各个方向的气流，影响机器的性能。且出气管的出口朝向远离第一直线电机和第二直线电机的方向，从而有效避免了抽出的热空气再次进入工作区，影响冷却效果。

在其中一个实施例中，所述抽风装置包括按照抽风方向串联方式布置的至少两个风扇，且沿抽风方向各个风扇的排风量逐渐增大。

在其中一个实施例中，所述抽风装置包括前置风扇，所述前置风扇设置在所述出气管的出口，所述前置风扇的出风口朝向远离所述出气管的方向。

在其中一个实施例中，所述抽风装置还包括中置风扇，所述出气管与所述第一导气管连通的入口为第一入口，所述第一入口与所述出气管的出口相对设置，所述中置风扇设置在所述出气管与所述第一导气管之间，所述中置风扇的出风口朝向所述第一入口，所述中置风扇的进风口朝向所述第一导气管。

在其中一个实施例中，所述前置风扇的排风量大于所述中置风扇的排风量。

在其中一个实施例中，所述出气管与所述第二导气管连通的入口为第二入口，所述第二入口位于所述第一入口与所述出气管的出口之间，所述第二入口为在所述出气管的侧壁上挖设的开口，所述开口与所述第二导气管的出口相适应，所述出气管的轴向长度与所述开口的大小相适应。

在其中一个实施例中，所述第一导气管的导气方向与所述第二导气管的导气方向垂直，所述出气管的导气方向与所述第一导气管的导气方向一致，所述第一导气管的侧壁上设有与所述第一直线电机导通的开口，所述第一导气管的轴向长度与所述开口的长度匹配，所述第二导气管与所述第二直线电机导通的入口与所述第二导气管的出口相对设置。

一种引线键合机运动平台系统，包括第一直线电机、第二直线电机和上述的双电机冷却装置，所述第一直线电机与所述第一导气管导通，所述第二直线电机与所述第二导气管导通。