[发明专利]一种激光吸收率测量装置及激光吸收率测量方法

权利要求书

1.一种激光吸收率测量装置，其特征在于，包括激光器、光束整形器、第一分束器、第一功率计、第二分束器、第一待测样品、第二功率计、第二待测样品、第三功率计，所述激光器用于发射激光束，所述光束整形器、第一分束器、第二分束器和第二待测样品沿激光束的出射方向依次设置，所述激光束经所述光束整形器整形后射向所述第一分束器，所述第一分束器、第二分束器及第二待测样品均与所述激光束的出射方向呈45°角设置在所述激光束的出射方向上；所述第一分束器将经所述光束整形器整形后的激光束分为沿所述激光束的出射方向第一光束和垂直于所述激光束的出射方向的第二光束，所述第一功率计接收所述第二光束并测量参考功率；所述第二分束器接收所述第一光束并将所述第一光束分为沿所述激光束的出射方向的第三光束和垂直于所述激光束的出射方向的第四光束，所述第一待测样品与所述第四光束呈45°角设置在所述第四光束的传递方向上，所述第二功率计用于检测所述第一待测样品的热辐射功率；所述第二待测样品接收所述第三光束并反射形成第五光束，所述第三功率计设置在第五光束的传递方向上并用于测量第二待测样品的反射功率；所述第一待测样品和第二待测样品为相同的待测样品，所述第一分束器为1:N分束器，所述第二分束器为1:1分束器，所述N大于或等于2。

2.根据权利要求1所述的激光吸收率测量装置，其特征在于，包括光束阻塞器，所述光束阻塞器用于接收所述第一待测样品反射的光束。

3.根据权利要求1所述的激光吸收率测量装置，其特征在于，所述第二功率计设置在用于调节所述第二功率计与所述第一待测样品的相对位置的第一平移台上，所述第三功率计设置在用于调节所述第三功率计与所述第二待测样品的相对位置的第二平移台上。

4.根据权利要求1所述的激光吸收率测量装置，其特征在于，还包括用于检测第一待测样品温度的第一温度测量仪和用于检测第二待测样品温度的第二温度测量仪。

5.根据权利要求4所述的激光吸收率测量装置，其特征在于，所述第一温度测量仪为红外热像仪或单点测温仪，所述第二温度测量仪为红外热像仪或单点测温仪。

6.根据权利要求1所述的激光吸收率测量装置，其特征在于，所述光束整形器用于将所述激光器发射的激光束整形为平顶光束。

7.根据权利要求3所述的激光吸收率测量装置，其特征在于，所述第一平移台与所述第一待测样品的法线方向呈45°角设置，所述第二平移台与所述第二待测样品的法线方向呈45°角设置。

8.根据权利要求5所述的激光吸收率测量装置，其特征在于，所述第一温度测量仪和第二温度测量仪均为红外热像仪，所述红外热像仪的示数差值小于所述红外热像仪的测量误差。

9.根据权利要求1所述的激光吸收率测量装置，其特征在于，所述第一待测样品和第二待测样品的测试面抛光的粗糙度级别相同。

10.一种基于权利要求1至9任意一项所述的激光吸收率测量装置的激光吸收率测量方法，其特征在于，选取相同的第一待测样品和第二待测样品，组建权利要求1至7任意一项所述的激光吸收率测量装置；通过第一功率计测量参考功率Q1，通过第二功率计测量热辐射功率Q2，通过第三功率计测量反射功率Q3，激光吸收率a通过公式：

a＝1-(Q3-Q2)/(0.5×N×Q1)

计算得到。