[发明专利]一种蒸发台

说明书

一种蒸发台。涉及半导体加工设备，尤其涉及一种蒸发台。提供了一种结构简单，方便清理，提高加工效率的蒸发台。包括工作台、蒸发台体、转台和摆动组件，所述蒸发台体设在工作台的上方，所述工作台的顶面设有容置槽，所述容置槽用于放置转台，所述工作台的底面设有安置槽一和安置槽二，所述安置槽一用于放置电机，所述安置槽二用于放置加热器；所述摆动组件包括液压油缸和固定盘，所述液压油缸设在盖板上，所述液压油缸的推杆连接固定盘，所述固定盘位于锥形孔内、用于连接圆片。本发明方便加工，操作可靠。

技术领域

本发明涉及半导体加工设备，尤其涉及一种蒸发台。

背景技术

蒸发镀膜是将熔点低的金属进行加热，使得金属蒸发并附着于待加工的圆片上，从而形成镀膜的工艺。现有镀膜工艺中，金属蒸发产生的气相金属通过自由运动与圆片接触，导致气相金属蒸发至其他区域，造成了浪费；同时，容易蒸发至其他区域，造成金属层难以清理，人员清洁时比较费力，而且清理不彻底。通常需要使用锤子、一字螺丝刀敲打进行清理，敲击时用力较大，容易导致出现金属毛刺，增加了后续加工难度，降低了工作效率。

发明内容

本发明针对以上问题，提供了一种结构简单，方便清理，提高加工效率的蒸发台。

本发明的技术方案是：包括工作台、蒸发台体、转台和摆动组件，所述蒸发台体设在工作台的上方，所述工作台的顶面设有容置槽，所述容置槽用于放置转台，所述工作台的底面设有安置槽一和安置槽二，所述安置槽一用于放置电机，所述安置槽二用于放置加热器；

所述安置槽一和容置槽之间设有贯通的穿孔，所述电机的转轴位于穿孔内、用于驱动转台旋转动作，所述转台的顶面在圆周上均布设有四个加热槽，

所述安置槽二和容置槽相连通，所述安置槽二位于任一加热槽的下方；

所述蒸发台体上设有上大下小的锥形孔，所述锥形孔的顶部设有盖板，所述锥形孔用于与任一加热槽连通；

所述摆动组件包括液压油缸和固定盘，所述液压油缸设在盖板上，所述液压油缸的推杆连接固定盘，所述固定盘位于锥形孔内、用于连接圆片。

所述转台的底面中心设有转孔，所述电机的转轴伸入转孔内。

所述圆片粘结连接在固定盘上。

所述固定盘上设有气路，所述气路连接负压风机，所述圆片吸附连接在固定盘上，

所述加热槽的槽口口径小于锥形孔的下部口径。

还包括防护套，所述防护套呈锥形，所述防护套设在锥形孔内。

所述防护套的两端分别通过拉绳连接液压油缸的推杆。

本发明在工作中，将金属放置在转台的加热槽内，通过电机旋转，可选择不同的金属，将其位于加热槽的正上方，通过加热器进行加热蒸发；由于锥形孔和加热槽相连通，使得气相金属蒸发至圆片上，方便操作。圆片连接在通过液压油缸驱动的固定盘上，可通过升降运动带动气相金属运动，从而提高蒸镀至圆片的速度，提高工作效率。

本发明方便加工，操作可靠。

附图说明

图1是本发明的结构示意图，

图2是图1的俯视图，

图3是工作台的结构示意图，

图4是图3中A-A面的剖视图，

图5是蒸发台体的结构示意图，

图6是图5中B-B的剖视图，

图7是本发明优化实施方式的结构示意图一，

图8是本发明优化实施方式的结构示意图二，