[发明专利]一种曝光机及其传送基板的方法

权利要求书

1.一种曝光机，其特征在于，包括：

基台部，包括工作台以及承片框，所述承片框位于所述工作台上，用于放置托盘，所述托盘用于盛放基板；

端口部，用作所述曝光机的入料口和出料口；

传送机构，包括上臂、下臂以及可移动式的托盘导轨，所述托盘导轨连接所述基台部与所述端口部；

其中，所述下臂设置有挂钩，用于钩取所述托盘并将所述托盘移至所述端口部。

2.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述端口部包括滚轮以及板式装载机。

3.如权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述滚轮位于所述板式装载机的两侧，用于限定所述托盘的移动方向。

4.如权利要求3所述的曝光机，其特征在于，所述板式装载机上设置有用于支撑所述基板的第一顶针组，以及用于支撑所述托盘的第二顶针组。

5.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机的机架上设置有用于上臂移动的第一轨道，以及用于下臂移动的第二轨道。

6.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述托盘导轨包括倾斜板、固定底座以及固定底座上的转轴，所述倾斜板通过所述转轴安装于所述固定底座上。

7.一种如权利要求1所述的曝光机的传送基板的方法，其特征在于，至少包括如下步骤：

S101、使用所述上臂从所述端口部取得一组载有所述基板的所述托盘放至所述工作台上的所述承片框进行曝光；

S102、曝光完成后，所述托盘导轨旋转，使得所述基台部与所述端口部处于同一平面；

S103、使用所述挂钩钩住所述托盘，将所述托盘拉取到所述端口部，完成传送。

8.如权利要求7所述的曝光机的传送基板的方法，其特征在于，在S101中当进行曝光制程时，所述下臂位于所述端口部的两侧。

9.如权利要求7所述的曝光机的传送基板的方法，其特征在于，在S102中当所述托盘导轨旋转时，所述下臂移动至所述基台部。

10.如权利要求7所述的曝光机的传送基板的方法，其特征在于，在S103中当所述挂钩钩取所述托盘运动时，所述上臂夹取下一组基板至所述承片框上进行曝光制程。