[发明专利]太阳电池单晶硅基绒面生成工艺

说明书

本发明涉及太阳电池制造工艺，公开一种太阳电池单晶硅基绒面生成工艺，该工艺采用以下步骤：首先，单晶硅太阳电池片在生成绒面之前，使用氢氧化钾溶液，去除硅基表面切割损伤层，使硅基表面平整；其次，使用氢氧化钾与双氧水混合溶液，在光滑平整的该硅基上形成二氧化硅氧化层；最后，使用氢氧化钾、山梨酸钾、乙酸钠、消泡剂、表面活性剂混合溶液，在形成氧化层的该硅基上生成致密、均匀的绒面结构。

技术领域

本发明涉及一种太阳电池制造工艺，尤其是涉及一种太阳电池单晶硅基绒面生成工艺。

背景技术

在太阳电池生产流程中，源硅片需要经过清洗制绒去除在切割过程中的表面损伤层，并且形成陷光结构的绒面，增加光在太阳能电池片表面的折射反射次数，增加光的吸收。目前常用的制绒方法为化学腐蚀法。

目前行业内主要使用的是氢氧化钠、抗坏血酸、苯甲酸钠、消泡剂、表面活性剂的疏水性混合溶液进行单晶硅基绒面的生成。使用此类溶液生成的“金字塔”型绒面的塔基大小在4~6微米，且绒面成型率较低。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种使用新型的混合溶液，改善单晶硅基绒面生成的工艺。

本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是：该工艺采用以下步骤：

步骤（1）：单晶硅太阳电池片在生成绒面之前，使用氢氧化钾溶液，去除硅基表面切割损伤层，使硅基表面平整；

步骤（2）：使用氢氧化钾与双氧水混合溶液，在光滑平整的该硅基上形成二氧化硅氧化层；

步骤（3）：使用氢氧化钾、山梨酸钾、乙酸钠、消泡剂、表面活性剂混合溶液，在形成氧化层的该硅基上生成致密、均匀的绒面结构。

特别地，该氢氧化钾溶液的氢氧化钾与纯水的体积比为100:1~1:100，处理时温度为40-90℃，处理时间为10-300s。

特别地，该氢氧化钾与该双氧水的体积比为100:1~1:100，处理温度为40-90℃，处理时间为10-300s。

特别地，该氢氧化钾与该山梨酸钾、该乙酸钠、该消泡剂、该表面活性剂的体积比为100:1:1:1:1~1:100:1:1:1~1:1:100:1:1~1:1:1:100:1~1:1:1:1:100，处理温度为40-180℃，处理时间为100-900s。

相较于现有技术，本发明的太阳电池单晶硅基绒面生成工艺，在生成绒面前，使用氢氧化钾溶液，去除硅基表面切割损伤层，使硅基表面更加平整，利于绒面的生成；利用氢氧化钾与双氧水混合溶液，在光滑平整的硅基上形成二氧化硅氧化层，为之后清水性溶液制造绒面创造吸附条件，使得单晶硅基上能够迅速高效的生成致密的“金字塔”型绒面结构；使用氢氧化钾与山梨酸钾、乙酸钠、消泡剂、表面活性剂的混合溶液生成的绒面，“金字塔”塔基大小在2~4微米，且成型率高，增加了光的吸收。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。

本发明提供一种太阳单晶硅基绒面生成工艺，该工艺包括如下步骤：

步骤（1）：粗抛工序，单晶硅太阳电池片在生成绒面之前，使用氢氧化钾溶液，去除硅基表面切割损伤层，使硅基表面平整；

步骤（2）：预清洗工序，使用氢氧化钾与双氧水混合溶液，在光滑平整的该硅基上形成二氧化硅氧化层；