[发明专利]微型湿度传感器在审
| 申请号： | 201811069136.2 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN108896612A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 傅剑宇;刘瑞文;侯影;魏德波;刘超;王玮冰;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微型湿度传感器 敏感结构 悬臂梁 支撑层 信号线 衬底 微机电系统技术 框架连接 回差 减小 响应 加工 | ||
1.一种微型湿度传感器，其特征在于，包括：敏感结构、支撑层、悬臂梁、信号线、框架和衬底；其中，
所述框架固定在衬底上；
所述支撑层通过悬臂梁与框架连接；
所述敏感结构固定在支撑层上；
所述信号线与敏感结构连接，并固定在悬臂梁上。
2.根据权利要求1所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述衬底为无图形化或有图形化的基底。
3.根据权利要求2所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述衬底为导体、半导体或绝缘体。
4.根据权利要求1所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述框架为长方体、梯形体或圆柱体结构，数量为一个或多个。
5.根据权利要求4所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述框架为绝缘体，或覆盖有介质材料的导体或半导体。
6.根据权利要求1所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述支撑层为长方体、正方体或圆柱体结构。
7.根据权利要求6所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述支撑层由介质材料构成，为氧化硅、氮化硅、或由氧化硅和氮化硅组成的多层材料。
8.根据权利要求1所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述悬臂梁为长条型、L型或折叠型，数量为一根或多根。
9.根据权利要求8所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述悬臂梁由介质材料构成，为氧化硅、氮化硅、或由氧化硅和氮化硅组成的多层材料。
10.根据权利要求1所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述敏感结构为热阻、二极管或热阻和二极管。
11.根据权利要求10所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述敏感结构为一个或多个，多个之间为串联或并联形式。
12.根据权利要求10或11所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述敏感结构位于支撑层的下表面、中间或上表面。
13.根据权利要求1所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述信号线为金属连线。
14.根据权利要求13所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述信号线位于悬臂梁的下表面、中间或上表面。
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