[发明专利]导电探针及使用和制造方法、降低导电探针放电的方法在审
| 申请号： | 201811053339.2 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN109239421A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 王胜利;杨应俊 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电探针 弯折部 放电 耐高温绝缘材料 支撑 电接触部 裸露部位 电连接 夹角为 减小 制造 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种导电探针，包括支撑部和弯折部，所述支撑部的一端和弯折部电连接，其特征在于：所述支撑部和弯折部之间夹角为β，β∈(90° 180°)；
所述弯折部包裹有耐高温绝缘材料，所述弯折部包括电接触部。
2.根据权利要求1所述的导电探针，其特征在于：所述支撑部远离弯折部的一端设置有止转部，所述止转部与弯折部在同一平面内。
3.根据权利要求1所述的半导体探针，其特征在于：所述耐高温绝缘材料为变压器绝缘漆。
4.根据权利要求1所述的半导体探针，其特征在于：所述弯折部远离支撑部的一端为电接触部。
5.一种权利要求1-4任意一项所述导电探针的使用方法，其特征在于：
S1：所述弯折部远离支撑部的一端为电接触部，导电探针使用前将电接触部的高温绝缘材料去除；
S2：去除了高温绝缘材料的电接触部与待测试电极电接触。
6.根据权利要求5所述的导电探针的使用方法，其特征在于：将电接触部用砂纸磨除耐高温绝缘材料。
7.一种如权利要求1-4任意一项导电探针的制造方法，其特征在于：
将弯折部浸入液态耐高温绝缘材料；将弯折部晾干/烘干，使弯折部被耐高温绝缘材料包裹。
8.一种降低导电探针放电的方法，其特征在于：将导电探针放电部位包裹耐高温绝缘材料，使用时将导电探针电接触部的耐高温绝缘材料去除。
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