[发明专利]一种掺氮的铝钪合金靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201811048555.8 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN109161858B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 丁照崇;王兴权;张晓娜;何金江;李勇军;雷继锋;庞欣;贺昕 | 申请（专利权）人： | 有研新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 朱琨 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种掺氮的铝钪合金靶材，其特征在于，所述铝氮钪合金靶材的化学成分为(AlxSc（1-x）)（1-y）(AlN)y，其中以AlN形式对铝钪合金进行掺氮，Al原子含量x为0~1，AlN质量含量y为0.1~99.9%；
所述掺氮的铝钪合金靶材以AlSc合金粉、AlN粉为原料，通过压力烧结工艺成型，靶材相对密度达到95%以上；
一种掺氮的铝钪合金靶材的制造方法，包括以下步骤：
（1）配料：按粉末冶金靶材的合金成分配比AlSc合金粉、AlN粉原料；
（2）混粉：将步骤（1）中所配比的两种原料放入混料机或球磨机内球磨混合均匀；
（3）压力烧结：将步骤（2）中所得的混合粉末压力烧结成靶坯；所述压力烧结为热压烧结或热等静压烧结，烧结环境为优于0.1Pa真空状态或惰性气体保护，烧结温度600~1200℃，烧结压力为30~150MPa，保温保压时间为4~6h；
（4）将步骤（3）中所得靶坯进行机加工制造出掺氮的铝钪合金单体成品靶材，或将机加工后的单体靶材与背板焊接为复合成品靶材。
2.根据权利要求1所述的一种掺氮的铝钪合金靶材，其特征在于，AlN粉粒径为0.1~50μm，AlSc合金粉的粒径为1~150μm。
3.根据权利要求1所述的一种掺氮的铝钪合金靶材，其特征在于，所述步骤（2）的混粉过程在优于0.1Pa真空状态或惰性气体保护下进行。
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