[发明专利]图案描绘装置及基板处理装置

权利要求书

1.一种图案描绘装置，其将在基板上以聚焦光在主扫描方向上扫描的多个描绘单元在上述主扫描方向上排列，并藉由上述描绘单元的各个所进行的聚焦光的扫描在上述基板上描绘图案，且具备：

光源装置，其将成为上述聚焦光的射束作为大致平行的激光射出；

多个选择用光学元件，其与上述多个描绘单元的各个对应而设，且以依序透过来自上述光源装置的大致平行的上述射束的方式设置，并在施加驱动信号时相对上述射束产生偏向的绕射光射束；

中继系统，其使上述多个选择用光学元件的各个成为光学上共轭的关系，并在依上述射束透过的顺序成为前段与后段关系的2个上述选择用光学元件之间形成上述射束的光束腰；及

分支反射镜，其配置在上述光束腰的位置或在其附近的位置，且将由上述成为前段的选择用光学元件产生的上述绕射光朝向对应的1个上述描绘单元反射。

2.如权利要求1所述的图案描绘装置，其中

上述中继系统包含：

第1透镜系统，其供透过上述成为前段的选择用光学元件的大致平行的上述射束射入并聚光在上述光束腰的位置，并在前侧焦点的位置配置上述成为前段的选择用光学元件；及

第2透镜系统，其使从上述光束腰发散的上述射束成为大致平行的光束，并在后侧焦点的位置配置上述成为后段的选择用光学元件。

3.如权利要求2所述的图案描绘装置，其中

上述多个选择用光学元件的各个是声光调变元件，其在施加上述驱动信号的接通状态的期间，产生以对应上述驱动信号的频率的绕射角偏向的大致平行的上述绕射光射束及不偏向而行进的大致平行的0次光射束，

上述第1透镜系统，其将在上述接通状态时产生的上述0次光射束的光束腰的位置及上述绕射光射束的光束腰的位置在上述绕射角的方向上分离形成。

4.如权利要求3所述的图案描绘装置，其中

上述分支反射镜具有仅反射在上述光束腰的位置分离的上述绕射光射束的反射面。

5.如权利要求4所述的图案描绘装置，其中

上述光源装置是脉冲激光光源，且包含：

脉冲光源部，其将成为上述射束的起源的种子光以既定的频率Fa产生成脉冲状；

电光调变器，其响应与上述图案对应的描绘数据，以电性控制调变上述脉冲状的种子光的波峰强度；

光放大器，其将被调变的上述脉冲状的种子光放大；及

波长转换光学元件，其将放大后的上述脉冲状的种子光的谐波作为上述频率Fa的脉冲状的上述射束而生成。

6.如权利要求5所述的图案描绘装置，其中

将来自上述脉冲光源部的上述种子光的上述频率Fa设定为数百Mhz。

7.如权利要求6所述的图案描绘装置，其中

将来自上述脉冲光源部的上述种子光的上述频率Fa设定为400Mhz。

8.如权利要求5至7中任一权利要求所述的图案描绘装置，其中

将以上述聚焦光的扫描在上述基板上形成的描绘线上的上述聚焦光的有效大小设为φ、将上述聚焦光的扫描速度设为Vs时，以上述频率Fa的周期1/Fa较由φ/Vs决定的时间短的方式设定上述频率Fa。

9.如权利要求1至7中任一权利要求所述的图案描绘装置，其中

上述多个描绘单元的各个具有：

旋转多面镜，其为了上述聚焦光的扫描而将通过上述分支反射镜射入的上述绕射光射束以多个反射面的各个依序偏向；

扫描用透镜系统，其供以该旋转多面镜偏向的上述绕射光射束射入并聚光成上述聚焦光；及

原点感测器，其产生上述旋转多面镜的多个反射面的各个成为每个既定的旋转角度时变化成脉冲状的原点信号。