[发明专利]多晶炉装置

权利要求书

1.一种多晶炉装置，其特征在于，包括：

炉体，具有冷却系统及至少一个加热器；

隔热组件，配置于该炉体内且该隔热组件具有开口；

熔融组件，配置于该隔热组件内，该熔融组件的底部对应该开口；

热交换器，配置于该熔融组件的该底部；

开合机构，配置于该隔热组件外且包括至少一挡板，该至少一挡板适于开启或关闭，以暴露或隔绝该开口；以及

多孔板，配置于该热交换器与开合机构之间，

其中，当该挡板开启并暴露该隔热组件的该开口时，该熔融组件所辐射的热量自该热交换器传递通过该多孔板，并到达该冷却系统。

2.如权利要求1所述的多晶炉装置，其中该隔热组件至少包括上隔热板、侧隔热板及下隔热板，该上隔热板位于该熔融组件的顶部，且该侧隔热板、该上隔热板与该下隔热板环绕在该熔融组件的外侧，该下隔热板位于该热交换器下方，该多孔板设置于该下隔热板与该热交换器之间。

3.如权利要求2所述的多晶炉装置，其中该下隔热板包括多个第一穿孔及多个第二穿孔，该热交换器包括多个支撑脚，该些支撑脚抵靠于该下隔热板且分别对应该些第一穿孔，该些第二穿孔分别配置于该些第一穿孔之间。

4.如权利要求2所述的多晶炉装置，其中该隔热组件包括多个辅助隔热材，该些辅助隔热材抵靠于该下隔热板与该熔融组件的该底部之间。

5.如权利要求1所述的多晶炉装置，其中该至少一挡板包括两个第一挡板及两个第二挡板，该些第二挡板位于该些第一挡板与该多孔板之间，该两个第一挡板沿着第一方向同步地相对远离或相对靠近，该两个第二挡板沿着垂直于该第一方向的第二方向同步地相对远离或相对靠近。

6.如权利要求1所述的多晶炉装置，其中该多孔板包括多个第一散热孔及多个第二散热孔，该些第一散热孔设置在该多孔板的中央区域，该些第二散热孔设置在该些第一散热孔的外围，且各该第二散热孔的第二孔径大于各该第一散热孔的第一孔径。

7.如权利要求1所述的多晶炉装置，其中该冷却系统包括流入管线、流出管线及散热区，该散热区分别连通该流入管线及该流出管线，且该散热区位于该开合机构下方，冷却水经由该流入管线进入该散热区以吸收热量，再由该流出管线离开该散热区。

8.如权利要求8所述的多晶炉装置，其中该冷却系统包括换热件，该换热件配置于该散热区上且对齐该多孔板。

9.如权利要求1所述的多晶炉装置，其中该熔融组件包括：

承载件，包括至少一侧板、底板及上盖板；

坩锅，位于该承载件内；以及

进气管，连通该上盖板，

其中，该热交换器配置于该承载件的该底板与该多孔板之间。

10.一种多晶炉装置，其特征在于，包括：

炉体，具有冷却系统及至少一个加热器；

隔热组件，配置于该炉体内且该隔热组件具有开口；

熔融组件，配置于该隔热组件内，该熔融组件的底部对应该开口；

热交换器，配置于该熔融组件的该底部；

开合机构，配置于该隔热组件外且包括至少一挡板，该至少一挡板适于开启或关闭，以暴露或隔绝该开口；以及

辅助隔热材，邻近该开口且位于该隔热组件与该熔融组件之间，

其中，当该挡板开启并暴露该隔热组件的该开口时，该熔融组件所辐射的热量自该热交换器传递到达该冷却系统。

11.如权利要求10所述的多晶炉装置，其中该辅助隔热材是软性隔热材质。

12.如权利要求10所述的多晶炉装置，包括：

多孔板，配置于该热交换器与该开合机构之间。