[发明专利]一种含钇的稀土抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种含钇稀土抛光液，包括含钇稀土抛光粉、分散剂、抗板结剂、增效剂和溶剂；

其中，各组分的质量百分含量为：含钇稀土抛光粉为10~50%，分散剂为0.3%~1.5%，抗板结剂为0.5%~3%，增效剂为0.2%~5%，余量为溶剂；所述抛光液PH为7.5~9.5。

2.根据权利要求1所述的含钇稀土抛光液，其特征在于：所述分散剂为六偏磷酸钠，所述抗板结剂为二氧化硅,所述增效剂为三聚磷酸钠和七钼酸铵，所述溶剂为水。

3.根据权利要求1所述的含钇稀土抛光液，其特征在于：所述含钇稀土抛光粉其成份按稀土质量比计，CeO₂含量的比例占20～99.9%，Y₂O₃含量的比例占0.1%～80%。

4.根据权利要求1所述的含钇稀土抛光液，其特征在于：所述含钇稀土抛光粉其成份按稀土质量比计，CeO₂含量的比例占10～99.8%，Y₂O₃含量的比例占0.1%～60%，La₂O₃含量的比例占0.1～30%。

5.根据权利要求1所述的含钇稀土抛光液，其特征在于：所述含钇稀土抛光粉其成份按稀土质量比计，CeO₂含量的比例占20～99.5%，Y₂O₃含量的比例占0.1%～60%，La₂O₃含量的比例占0～30%，Pr₇O₁₁含量的比例占0～4%，Nd₂O₃含量的比例占0～4%。

6.根据权利要求1-5所述的任一种含钇稀土抛光液的制备工艺，其特征在于：包括如下步骤：

a、制备稀土抛光粉前驱体，稀土抛光粉前驱体为稀土氧化物、碳酸盐、硫酸盐或硝酸盐的一种或多种混合物；

b、对上述前驱体进行氟化，控制氟的含量为TREO的0～20%，氟化剂是氟化氢铵、硅氟酸、氢氟酸、氟化钇、氟化钠和氟化铵的一种或多种混合物；氟化后烘干煅烧，烘干温度为200～900℃，煅烧温度为850～1100℃；

c、将煅烧产物破碎分级，破碎分级的粒度要求为D50：0.5～4.0um，D100:3～16um；

d、将破碎后的抛光粉按比例加入分散剂、抗板结剂、增效剂及溶剂，混匀调浆，球磨2~4h，过筛灌装后即得到含钇稀土抛光液。