[发明专利]TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材压延工艺在审
| 申请号： | 201810973020.5 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN109174996A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 常艳超;臧卫祥;尤小磊;丁静仁;程小明;徐东起;王冬振;董意男;董常亮;高奇峰 | 申请（专利权）人： | 爱发科电子材料（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B21C37/02 | 分类号： | B21C37/02 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铝板 压延 半成品 配线层 高纯铝 靶材 控温 铝锭 校直 加热 成品步骤 冷却步骤 适用条件 作业步骤 下压量 压制 | ||
1.一种TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材压延工艺，包括
步骤一、铝锭形成半成品铝板作业步骤，将铝锭依次经过加热、控温、压延、校直、切断，形成半成品铝板；
步骤二、冷却步骤，将半成品铝板进行自然冷却步骤；
步骤三、半成品铝板形成成品步骤，将半成品铝板依次经过加热、控温、压延、校直、切断，形成TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材，其中最后一次的压制展延的下压量为X，50％＜X＜70％。
2.根据权利要求1所述的TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材压延工艺，其特征在于：所述铝锭形成半成品铝板作业步骤中的加热与半成品铝板形成成品步骤中的加热所需的环境温度相同。
3.根据权利要求1所述的TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材压延工艺，其特征在于：所述铝锭形成半成品铝板作业步骤中的加热与半成品铝板形成成品步骤中的校直需要保证铝锭板材、半成品铝板板材的平整度。
4.根据权利要求1所述的TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材压延工艺，其特征在于：所述铝锭形成半成品铝板作业步骤中的压延包括至少一次调整下压道次、多次连续下压道次，所述至少一次调整下压道次、多次连续下压道次的压下率逐渐增大。
5.根据权利要求1所述的TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材压延工艺，其特征在于：所述半成品铝板形成成品步骤中的压延包括至少两次下压道次，所述至少两次下压道次的压制展延压下率逐渐增大。
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