[发明专利]光电二极管内部光生电荷转移效率的测试方法

权利要求书

1.一种光电二极管内部光生电荷转移效率的测试方法，所述光电二极管(2)内部的光生电荷需转移至悬浮扩散节点(203)，其特征在于，测试环境为暗室，包括以下步骤：

步骤1，设光电二极管(2)的上表面在光照条件下只有一小孔可进行透光，在能量为E的光源下，光照t₀时间内所述小孔所对应光电二极管(2)处所产生的光生电荷为E₀，光生电荷E₀的转移距离为L₀，光生电荷E₀在所述悬浮扩散节点(203)中所对应的电压值为ΔV₀；

步骤2，依次将小孔朝远离悬浮扩散节点(203)的方向进行移动，且每次小孔在进行移动后，在能量为E的光源下光照t₀时间后，所述小孔所对应光电二极管(2)处在t₁时间内转移的光生电荷为E_i，所述转移的光生电荷E_i在所述悬浮扩散节点(203)中所对应的电压值ΔV_i，i＝1,2,3...,N，N为大于等于1的自然数；

步骤3，通过式(1)得到光电二极管内部光生电荷转移效率η_i：

其中，ΔV_i为t₁时间内转移的光生电荷E_i在悬浮扩散节点(203)中所对应的电压值；ΔV₀为光生电荷E₀在悬浮扩散节点(203)中所对应的电压值；

通过式(2)得到所述光生电荷E₀在悬浮扩散节点(203)中所对应的电压值ΔV₀：

ΔV₀＝V_rst-V_max (2)

其中，V_rst为未进行移动前，电荷开始转移前的时刻进行复位后悬浮扩散节点(203)中所对应的电压值；V_max为未进行移动前，光生电荷充分转移后悬浮扩散节点(203)中所对应的最大电压值；通过式(3)得到距离移动后t₁时间内转移的光生电荷E_i在悬浮扩散节点(203)中所对应的电压值ΔV_i：

ΔV_i＝V_rsti-V_i (3)

其中，V_rsti为第i次移动后，电荷开始转移前的时刻进行复位后悬浮扩散节点(203)中所对应的电压值；V_i为第i次移动后，在能量为E的光源下光照t₀时间后，在t₁时间内转移的光生电荷E_i在悬浮扩散节点(203)中所对应的电压值。

2.根据权利要求1所述的光电二极管内部光生电荷转移效率的测试方法，其特征在于，所述小孔为正多边形。

3.根据权利要求1所述的光电二极管内部光生电荷转移效率的测试方法，其特征在于，所述光电二极管(2)的上表面覆盖有不透光挡板(1)，所述不透光挡板上(1)上设有透光小孔(101)。

4.根据权利要求1或3所述的光电二极管内部光生电荷转移效率的测试方法，其特征在于，所述光电二极管(2)中包括电荷收集区(201)，所述电荷收集区(201)中的光生电荷转移至悬浮扩散节点(203)，所述悬浮扩散节点(203)和电荷收集区(201)之间设有传输栅(202)。

5.根据权利要求1或3所述的光电二极管内部光生电荷转移效率的测试方法，其特征在于，所述悬浮扩散节点(203)中的光生电荷通过源跟随器获取对应的电压值。

6.根据权利要求1或3所述的光电二极管内部光生电荷转移效率的测试方法，其特征在于，还包括复位器，用于将电荷收集区(201)或悬浮扩散节点(203)中的光生电荷进行抽尽操作。