[发明专利]一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备

权利要求书

1.一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法，其特征在于，包括：

在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位与玻璃表面的第一间隙；

在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面与玻璃同一表面的第二间隙；

确定蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙为所述第一间隙减去所述第二间隙的差值。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃为具有透明图案的玻璃。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述透明图案通过钼制作的图案。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述玻璃上的透明图案均匀设置，每个图案大小为10μm～25μm，相邻图案间距为20μm～30μm。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃表面为玻璃的上表面或者玻璃的下表面。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位与玻璃表面的第一间隙，包括：

在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位相对参考平面的绝对高度以及玻璃表面相应部位相对参考平面的绝对高度；

确定蒸镀掩膜板各个部位与玻璃表面的第一间隙为，蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位相对参考平面的绝对高度与玻璃表面相应部位相对参考平面的绝对高度的差值；

所述在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面与玻璃同一表面的第二间隙，包括：

在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面相对参考平面的绝对高度以及玻璃同一表面相应部位相对参考平面的绝对高度；

确定蒸镀掩膜板与玻璃同一表面的第二间隙为，蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面相对参考平面的绝对高度与玻璃相应部位同一表面相对参考平面的绝对高度的差值。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，通过电感耦合装置确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位相对参考平面的绝对高度以及玻璃表面相应部位相对参考平面的绝对高度；以及

通过电感耦合装置确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面相对参考平面的绝对高度以及玻璃同一表面相应部位相对参考平面的绝对高度。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，在确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位相对参考平面的绝对高度以及玻璃表面相应部位相对参考平面的绝对高度时，根据不同部位的下沉量，调整电感耦合装置的高度。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述根据不同部位的下沉量，调整电感耦合装置的高度，包括：

根据各个部位的下沉量所在的区间，调整电感耦合装置的高度至该区间对应的高度。

10.一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定装置，其特征在于，包括：

第一间隙确定单元，用于在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位与玻璃表面的第一间隙；

第二间隙确定单元，用于在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面与玻璃同一表面的第二间隙；

贴合间隙确定单元，用于确定蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙为所述第一间隙减去所述第二间隙的差值。