[发明专利]基于钠掺杂氧化锌纳米簇的太赫兹波开关在审

专利信息
申请号: 201810875772.8 申请日: 2018-08-03
公开(公告)号: CN109037859A 公开(公告)日: 2018-12-18
发明(设计)人: 李九生;邓玉强 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: H01P1/10 分类号: H01P1/10;G02F1/01
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 氧化锌纳米 钠掺杂 太赫兹波 二氧化硅膜层 硅基底层 紫外光 太赫兹信号 垂直输出 几何中心 控制效果 透过率 中间层 最底层 顶层 垂直
【权利要求书】:

1.一种基于钠掺杂氧化锌纳米簇的太赫兹波开关,其特征在于它包括硅基底层(1)、二氧化硅膜层(2)和钠掺杂氧化锌纳米簇层(3);硅基底层(1)位于最底层,二氧化硅膜层(2)位于中间层,顶层则为钠掺杂氧化锌纳米簇层(3),太赫兹信号在钠掺杂氧化锌纳米簇层(3)正上方从几何中心处垂直输入,依次经过二氧化硅膜层(2)和硅基底层(1)后垂直输出,紫外光在钠掺杂氧化锌纳米簇层(3)上方输入,通过改变紫外光的强度来控制太赫兹波的透过率,进而实现太赫兹波开关的功能。

2.根据权利要求1所述的一种基于钠掺杂氧化锌纳米簇的太赫兹波开关,其特征在于所述的硅基底层(1)形状为正方形,边长为1.5cm~2cm,厚度为300μm~500μm。

3.根据权利要求1所述的一种基于钠掺杂氧化锌纳米簇的太赫兹波开关,其特征在于所述的二氧化硅膜层(2)形状为正方形,边长为1.5cm~2cm,厚度为50nm~100nm。

4.根据权利要求1所述的一种基于钠掺杂氧化锌纳米簇的太赫兹波开关,其特征在于所述的钠掺杂氧化锌纳米簇层(3)厚度为150nm~200nm。

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