[发明专利]一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构

说明书

本发明公开了一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，包括真空室、磁导向装置，还包括多根横向穿过真空室两侧侧板的连接杆，多条磁导向装置纵向固定在连接杆上，连接杆的一端固定在安装板上，在安装板与真空室之间的连接杆外套有波纹管，连接杆的另一端套在密封套筒内，在真空室的两端还各设有一根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆，在传动杆上固定有夹具，传动杆一端与固定在安装板上的旋转马达连接，另一端套在密封套筒内，所述安装板与平移驱动装置连接，平移驱动装置可带动安装板往返移动。本发明可以实现多个基片架在单箱体真空环境下的左右平移，使基片架在平移过程中的保持平稳，整个工作过程中不会造成真空度的变化。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体说，是一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构。

背景技术

真空镀膜生产线是在同一水平平面上分布有多个真空箱体，被镀玻璃在传送装置的输送下，经过每一个真空箱体进行处理，实现表面镀膜。立式真空镀膜生产线的基片架传送时，基片架垂直于真空室底板，其底部由机械传送机构驱动，上部采用磁导向装置导向，所述的磁导向装置是在承载玻璃的基片架上部设置磁钢，然后，使基片架上部卡装在两侧壁上设置有多组磁导向单元的U形槽中，利用磁钢同极排斥的作用，实现对基片架无接触定位、导向目的。目前真空环境下的磁导向装置采用的是固定式。

发明内容

针对上述现有技术中存在的技术问题，本发明提供一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，可以实现多个基片架在单箱体真空环境下的左右平移。

本发明采用的技术方案如下：一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，包括真空室、磁导向装置，还包括多根横向穿过真空室两侧侧板的连接杆，多条磁导向装置纵向固定在连接杆上，连接杆的一端固定在安装板上，在安装板与真空室之间的连接杆外套有波纹管，波纹管两端分别与安装板及真空室侧板密闭连接，连接杆的另一端套在密封套筒内，密封套筒固定在真空室侧板上，在真空室的两端还各设有一根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆，在传动杆上固定有与磁导向装置一一对应的夹具，传动杆一端与固定在安装板上的旋转马达连接，在安装板与真空室之间的传动杆外套有波纹管，波纹管两端分别于安装板及真空室侧板密闭连接，传动杆的另一端套在密封套筒内，密封套筒固定在真空室侧板上，所述安装板与平移驱动装置连接，所述平移驱动装置可带动安装板往返移动。

进一步地，所述平移驱动装置包括平移马达、与平移马达连接的丝杠、与丝杠配合的丝杠螺母，所述丝杠螺母与安装板连接。

进一步地，还包括平移导向装置，所述平移导向装置包括直线滑轨、固定在安装板上与直线滑轨配合的滑块。

进一步地，所述连接杆、传动杆与真空室侧板之间通过直线轴承连接。

本发明的有益效果是：本发明可以实现多个基片架在单箱体真空环境下的左右平移，解决了基片架在水平移动过程中上端的摆动以及整个框架的晃动问题，使基片架在平移过程中的保持平稳，整个平移机构都是在真空环境下进行，在整个工作过程中不会造成真空度的变化。

附图说明

图1是本发明的立体结构示意图。

图2是本发明使用状态的纵向截面图。

图3是本发明使用状态的横向截面图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。