[发明专利]一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构在审
| 申请号： | 201810859252.8 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN108774732A | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 刘光斗;舒逸;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 安装板 连接杆 真空室 传动杆 平移驱动装置 磁导向装置 真空镀膜机 横向穿过 两侧侧板 密封套筒 平移机构 磁导向 基片架 套在 夹具 室内 平移过程 往返移动 旋转马达 真空环境 纵向固定 左右平移 波纹管 单箱体 | ||
1.一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，包括真空室、磁导向装置，其特征在于：还包括多根横向穿过真空室两侧侧板的连接杆，多条磁导向装置纵向固定在连接杆上，连接杆的一端固定在安装板上，在安装板与真空室之间的连接杆外套有波纹管，波纹管两端分别与安装板及真空室侧板密闭连接，连接杆的另一端套在密封套筒内，密封套筒固定在真空室侧板上，在真空室的两端还各设有一根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆，在传动杆上固定有与磁导向装置一一对应的夹具，传动杆一端与固定在安装板上的旋转马达连接，在安装板与真空室之间的传动杆外套有波纹管，波纹管两端分别于安装板及真空室侧板密闭连接，传动杆的另一端套在密封套筒内，密封套筒固定在真空室侧板上，所述安装板与平移驱动装置连接，所述平移驱动装置可带动安装板往返移动。
2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，其特征在于：所述平移驱动装置包括平移马达、与平移马达连接的丝杠、与丝杠配合的丝杠螺母，所述丝杠螺母与安装板连接。
3.如权利要求1所述的一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，其特征在于：还包括平移导向装置，所述平移导向装置包括直线滑轨、固定在安装板上与直线滑轨配合的滑块。
4.如权利要求1所述的一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，其特征在于：所述连接杆、传动杆与真空室侧板之间通过直线轴承连接。
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