[发明专利]一种真空镀膜机真空室基片架升降机构在审
| 申请号： | 201810859250.9 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN108774731A | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 刘光斗;舒逸;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支撑杆 基片架 端板 真空室底板 升降机构 真空室 真空镀膜机 真空环境 波纹管 密封板 气缸 传输机构 顶端连接 独立传输 活塞杆端 密闭连接 气密性好 下基片 支撑座 伸入 穿透 穿过 室内 脱离 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜机真空室基片架升降机构，其特征在于：在真空室底板下方固定有两个气缸，两个气缸的活塞杆端连接在同一块端板上，所述端板的两端各设有一支撑杆，所述支撑杆穿透真空室底板伸入至真空室内，支撑杆的顶端连接支撑座，支撑杆穿过真空室底板处设有密封板，在真空室与端板之间的支撑杆外套有波纹管，所述波纹管两端分别与密封板和端板密闭连接。
2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机真空室基片架升降机构，其特征在于：所述支撑杆与密封板之间通过直线轴承连接。
3.如权利要求1所述的一种真空镀膜机真空室基片架升降机构，其特征在于：在密封板上设有导向杆，在支撑座上设有与导向杆配合的导向板。
4.如权利要求1所述的一种真空镀膜机真空室基片架升降机构，其特征在于：在支撑座上设有与基片架配合的两条凹槽。
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