[发明专利]一种新型梳齿电极板微加速度计及其制作方法在审
| 申请号： | 201810818464.1 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109142783A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 洪文涛;董林玺 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所(普通合伙) 33220 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 310018*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微加速度计 驱动器 电极板 梳齿 栅形电极 锚点 固定质量块 抗噪声性能 仿真验证 固定极板 刻蚀凹槽 理论分析 铝电极层 品质因数 梳齿电极 梳齿结构 压膜阻尼 综合性能 衬底层 传统的 质量块 电容 硅层 极板 减小 可动 吸合 优化 制作 改进 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型梳齿电极板微加速度计，结构包括质量块、U型梁、锚点、栅形电极板、驱动器锚点，驱动器U型梁、驱动器块、驱动器电极板，还有底部的电极层、衬底和掩膜层。
2.如权利要求1所述的一种新型梳齿电极板微加速度计，其特征在于：所述的质量块，U型梁和锚点，以及中间部分的栅形电极，它们共同组成了传感器的可动敏感质量块部分；每条栅形条与下面电极层中的每对叉指互相对应；可动敏感质量块两侧的上下两端引伸出电极板，一共有4部分，分别与固定的驱动器电极板构成了梳齿电容结构；刻蚀的凹槽结构位于固定极板上。
3.如权利要求1所述的一种新型梳齿电极板微加速度计，其特征在于：在每个驱动器块中间，留有一定的空间给防吸合阻挡块。
4.如权利要求3所述的一种新型梳齿电极板微加速度计，其特征在于：防吸合阻挡块与周围的间距应小于极板间距，目的是在正对极板吸合前就‘抵住’固定块，防止吸合的情况发生。
5.如权利要求1所述的一种新型梳齿电极板微加速度计，其特征在于：每个驱动器都设有锚点和U型弹性梁结构，锚点和U型梁也与底部电极层连接。
6.如权利要求5所述的一种新型梳齿电极板微加速度计，其特征在于：锚点可以起到支撑作用，还设置有多个外部驱动电流引入点，并在对应外部驱动电流引入焊点间设置有金属驱动导线，用于连接外部电路。
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