[发明专利]一种旋转平台及多倍程平面干涉角度测量系统

权利要求书

1.一种旋转平台，其特征在于：包括固定基座、转台和两个驱动器，所述固定基座的上表面开设有与所述转台形状相匹配的凹槽，所述转台以能够转动的方式嵌置在所述凹槽内；所述转台包括中心圆形转子，所述中心圆形转子的两侧对称设置有两个旋转臂，两个所述驱动器以所述中心圆形转子的圆心为中心呈中心对称分布，每个所述驱动器的输出端均嵌置在所述旋转臂的上表面内，每个所述驱动器的另一端均嵌置在所述固定基座的上表面内；两个所述驱动器用于同时驱动两个所述旋转臂同向旋转。

2.根据权利要求1所述的旋转平台，其特征在于：所述中心圆形转子和两个所述旋转臂一体成型，每个所述旋转臂的外端和所述中心圆形转子的外周均通过柔性铰链与所述凹槽的内壁连接，所述中心圆形转子、所述旋转臂、所述固定基座以及所述柔性铰链为线切割一体成型。

3.根据权利要求2所述的旋转平台，其特征在于：所述旋转臂以所述中心圆形转子为中心呈向外辐射状，每个所述旋转臂的顶端均通过两个所述柔性铰链与所述凹槽的内壁连接，所述中心圆形转子的外周通过均匀分布的六个所述柔性铰链与所述凹槽的内壁连接。

4.根据权利要求3所述的旋转平台，其特征在于：所述驱动器为压电陶瓷堆，每个所述压电陶瓷堆的顶端均用于推动所述旋转臂转动，每个所述压电陶瓷堆的尾端均通过螺栓固定在所述固定基座上。

5.一种多倍程平面干涉角度测量系统，其特征在于：包括测角干涉仪和如权利要求1～4任意一项所述的旋转平台，所述中心圆形转子的上表面用于放置被测平面镜，所述测角干涉仪用于设置在所述旋转平台的一侧。

6.根据权利要求5所述的多倍程平面干涉角度测量系统，其特征在于：所述测角干涉仪包括第一偏振分光镜，所述第一偏振分光镜包括两个第一直角棱镜，两个所述第一直角棱镜拼接形成矩形偏振分光镜，所述矩形偏振分光镜的前端面铺设有1/4波片，所述1/4波片用于与所述被测平面镜的被测面平行放置；所述矩形偏振分光镜的后端并排设置有两个第二直角棱镜，且两个所述第二直角棱镜的面积最大平面平行于所述矩形偏振分光镜的后端面设置；所述矩形偏振分光镜的一侧设置有第二偏振分光镜和两个第三直角棱镜，所述第二偏振分光镜包括一个第四直角棱镜和一个平行四边形棱镜，所述第四直角棱镜的最大平面与所述平行四边形棱镜的一倾斜面对接，所述第四直角棱镜和所述平行四边形棱镜拼接为一直角梯形偏振分光镜，所述直角梯形偏振分光镜的长底面靠近且平行于所述矩形偏振分光镜的侧端面设置，两个所述第三直角棱镜对称分布在所述第二偏振分光镜的两侧，两个所述第三直角棱镜的面积最大平面靠近且平行于所述矩形偏振分光镜的侧端面设置。

7.根据权利要求6所述的多倍程平面干涉角度测量系统，其特征在于：所述直角梯形偏振分光镜设置为两个，两个所述直角梯形偏振分光镜的长底面均靠近且平行于所述矩形偏振分光镜的侧端面设置，且两个所述直角梯形偏振分光镜沿所述矩形偏振分光镜的高度方向反向叠加设置；两个所述直角梯形偏振分光镜的长底面上均铺设有半波片。

8.根据权利要求7所述的多倍程平面干涉角度测量系统，其特征在于：所述第一直角棱镜、所述第二直角棱镜、所述第三直角棱镜以及所述第四直角棱镜均为等腰直角棱镜，每个所述第二直角棱镜的高度均等于所述矩形偏振分光镜的高度，每个所述第二直角棱镜的面积最大平面的宽度均等于所述矩形偏振分光镜后端面长度的一半，且所述第二直角棱镜的侧棱与所述第一直角棱镜的侧棱平行；所述直角梯形偏振分光镜的长底面长度与两个所述第三直角棱镜的高度之和等于所述矩形偏振分光镜的侧面长度，所述第三直角棱镜的侧棱与所述第一直角棱镜的侧棱垂直。

9.根据权利要求8所述的多倍程平面干涉角度测量系统，其特征在于：两个所述第二直角棱镜均与所述矩形偏振分光镜的后端面间隔设置；两个所述第三直角棱镜和两个所述直角梯形偏振分光镜均与所述矩形偏振分光镜的侧面间隔设置。

10.根据权利要求8所述的多倍程平面干涉角度测量系统，其特征在于：两个所述第二直角棱镜均粘接在所述矩形偏振分光镜的后端面；两个所述第三直角棱镜和两个所述直角梯形偏振分光镜均粘接在所述矩形偏振分光镜的侧面。