[发明专利]一种集成电路测试系统时间测量单元校准装置及方法

说明书

本发明提供的一种集成电路测试系统时间测量单元校准装置及方法，所述装置将各模块集成在一个密封的温控模块内，直接安装在相应接口适配器上实现校准，对独立可调的标准脉冲信号实现闭环反馈确保其稳定可靠，对信号的采集、传输采用对称式探针结构，保证校准装置信号完整性。所述装置具有可溯源性、高可靠性、高集成度、使用方便等优点。

技术领域

本发明涉及微电子测试与计量技术领域，具体涉及一种集成电路测试系统时间测量单元的校准装置及方法。

背景技术

时间测量单元(Time Measurement Unit，TMU)是集成电路测试系统中对交流参数测量的单元，通常以板卡的形式装备于集成电路测试系统中。TMU在集成电路测试领域具有广泛的运用。

集成电路交流参数有很多种，主要包括脉冲宽度、脉冲间隔以及上升/下降时间等，TMU的测试过程是将采集到的集成电路交流参数信号分为START信号和STOP信号，其中START信号和STOP信号的触发点可以通过设置触发电平和斜率来控制，比如，当START信号和STOP信号来自同一个交流信号的不同脉冲沿时，所测得的时间间隔就是脉冲宽度；当START信号和STOP信号来自同一个交流信号的同一个脉冲沿时，所测得的时间间隔就是上升/下降时间；当START信号和STOP信号来自不同信号的脉冲沿时，所测得的时间间隔就是脉冲间隔。TMU测试过程准确、高效、易操作，测试分辨率取决于其内部计数器的测量分辨率，不会受到集成电路测试系统同步偏差时间、传输延迟时间等因素的影响。

TMU通常有两个输入端，通过集成电路测试系统测试头上的管脚与待测集成电路连接，既能够单端输入，也能够双端输入，其通道选择、参数配置以及量程切换均是通过测试系统测试程序控制完成，具有很高的可操作性和实用性。

在半导体行业中，集成电路测试是不可或缺的环节，要保证测试结果的准确可靠，特别是集成电路交流参数量值的准确可靠，就必须对TMU进行校准。随着集成电路运行速率不断提高，越来越多的时间测量单元配置于集成电路测试系统中，而时间测量单元作为一个独立的部件，对其技术指标的考量完全不同于集成电路测试系统中的其他部件，所以不能应用现有的校准方式。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种集成电路测试系统时间测量单元校准装置及方法，实现对集成电路测试系统时间测量单元的校准，保障集成电路交流参数的准确可靠。

为实现上述目的，本发明公开一种集成电路测试系统时间测量单元校准装置，所述校准装置1包括主控模块10、与主控模块10电连接的时间间隔测量模块11、放置主控模块10和时间间隔测量模块11的恒温控制模块12，与时间间隔测量模块11电连接的探针模块13、与探针模块13电连接的接口适配器14；

所述校准装置1与外置集成电路电路测试系统2电连接。

上述技术方案中，所述探针模块13为对称结构式，包括两只用于采集信号的探针、用于定位并且控制两只探针在水平面以固定轴为圆心旋转的固定轴组成；

上述技术方案中，所述时间间隔测量模块11通过对称结构式探针模块13与接口适配器14输出端电连接。

上述技术方案中，所述集成电路电路测试系统2包括主机20、第一路数字通道21、待校准TMU22和第二路数字通道23；

所述主机20与所述主控模块10电连接，所述接口适配器14与第一路数字通道21电连接、接口适配器14与待校准TMU22电连接，接口适配器14与第二路数字通道23电连接。

本发明还公开一种集成电路测试系统时间测量单元校准方法，所述方法包括以下步骤：

S1、所述校准装置1的校准过程分为脉冲宽度校准和脉冲间隔校准；

S2、主控模块10控制集成电路电路测试系统2产生标准脉冲信号；