[发明专利]一种集成电路测试系统时间测量单元校准装置及方法

权利要求书

1.一种集成电路测试系统时间测量单元校准装置，其特征在于，所述校准装置（1）包括主控模块（10）、与主控模块（10）电连接的时间间隔测量模块（11）、放置主控模块（10）和时间间隔测量模块（11）的恒温控制模块（12）、与时间间隔测量模块（11）电连接的探针模块（13）、与探针模块（13）电连接的接口适配器（14）；其中，所述时间间隔测量模块（11）用于测量标准脉冲信号脉冲宽度以及脉冲间隔，并将测试结果实时反馈到主控模块（10），所述探针模块（13）为对称结构式，包括两只用于采集信号的探针、用于定位并且控制两只探针在水平面以固定轴为圆心旋转的固定轴组成，所述时间间隔测量模块（11）通过对称结构式探针模块（13）与接口适配器（14）输出端电连接；

所述校准装置（1）与外置集成电路测试系统（2）电连接。

2.根据权利要求1所述一种集成电路测试系统时间测量单元校准装置，其特征在于，所述集成电路测试系统（2）包括主机（20）、第一路数字通道（21）、待校准TMU（22）和第二路数字通道（23）；

所述主机（20）与所述主控模块（10）电连接，所述接口适配器（14） 与第一路数字通道（21）电连接、接口适配器（14）与待校准TMU（22）电连接，接口适配器（14）与第二路数字通道（23）电连接。

3.一种如权利要求1-2任一项所述集成电路测试系统时间测量单元校准装置的校准方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S1、所述校准装置（1）的校准过程分为脉冲宽度校准和脉冲间隔校准；

S2、主控模块（10）控制集成电路测试系统（2）产生标准脉冲信号；

S3、当对脉冲宽度校准时，控制集成电路测试系统（2）的第一路数字通道（21）向待校准的TMU（22）发出固定周期的标准脉冲信号，由校准装置（1）通过探针模块（13）采集输出波形，实时进行闭环反馈，调节标准脉冲信号的周期，最后由主控模块（10）对时间间隔测量模块（11）与待校准TMU（22）所测量的单路信号的时间间隔的结果进行比对，实现校准，并将校准结果存储于主机（20）存储器中；

S4、当对脉冲间隔校准时，控制集成电路测试系统（2）的第一路数字通道（21）和第二路数字通道（23）向待校准的TMU（22）发出幅值相同、频率相同固定脉冲间隔的两路标准脉冲信号，由校准装置（1）通过探针模块（13）采集输出波形，实时进行闭环反馈，调节标准脉冲间隔，最后由主控模块（1）对时间间隔测量模块（11）与待校准TMU（22）所测量的两路信号时间间隔的结果进行比对，实现校准，并将校准结果存储于主机（20）存储器中。