[发明专利]一种应用于中红外波段的硫系波导结构在审
申请号: | 201810782753.0 | 申请日: | 2018-07-17 |
公开(公告)号: | CN108919420A | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
发明(设计)人: | 张巍;赵阳;李承栋;郭盼盼;张培晴;徐培鹏 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12 |
代理公司: | 浙江素豪律师事务所 33248 | 代理人: | 徐芙姗 |
地址: | 315000 浙江省宁波市江北*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 低折射率层 折射率 硫系 波导结构 光传输层 缓冲层 中红外波段 薄膜 波导 衬底 两层 制备 应用 硫化物薄膜 硫化物玻璃 传输损耗 单模条件 泄露 | ||
1.一种应用于中红外波段的硫系波导结构,其特征在于:包括衬底(101),缓冲层(102),低折射率层(103)和光传输层(104),所述缓冲层(102)位于衬底(101)上,所述低折射率层(103)位于所述缓冲层(102)上,所述光传输层(104)位于所述低折射率层(103)上,所述低折射率层(103)和光传输层(104)均为硫化物玻璃制备的硫化物薄膜层,所述缓冲层(102)的折射率小于所述低折射率层(103)的折射率,所述低折射率层(103)的折射率小于所述光传输层(104)的折射率。
2.如权利要求1所述的应用于中红外波段的硫系波导结构,其特征在于:所述低折射率层(103)的折射率范围为2-2.2,该光传输层(104)的折射率在2.4以上
3.如权利要求1或2所述的应用于中红外波段的硫系波导结构,其特征在于:所述衬底(101)的宽度为15μm-20μm,厚度为2500nm;所述缓冲层(102)的宽度为15μm-20μm,厚度为2500nm;所述低折射率层(103)的宽度为5μm-10μm,厚度为800nm-1000nm;所述光传输层(104)的宽度为5μm-10μm,厚度为500nm-600nm。
4.如权利要求1所述的应用于中红外波段的硫系波导结构,其特征在于:所述低折射率层(103)和光传输层(104)的材料为硫化锗玻璃,硫化砷玻璃、硒化砷玻璃、锗锑硒玻璃,锗锑硫玻璃或硒化锑玻璃。
5.如权利要求1所述的应用于中红外波段的硫系波导结构,其特征在于:所述衬底(101)为集成光子学的常用衬底,所述缓冲层(102)的材料包括各种比硫化物玻璃折射率低的光学透明材料。
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