[发明专利]自动处理待检测批次产品的系统及方法

说明书

本发明提供了一种自动处理待检测批次产品的系统及方法，包括：计算待检测的批次产品的数量T与机台能够检测的批次产品的数量M，计算两者的差值L，若差值小于等于0，则返回上述第一个步骤；若差值大于0，则判断必须检测的批次产品的数量W，计算T与W的差值C，判断L与C的大小，若L大于等于C，则取消C数量的批次产品的检测；若L小于C，则取消L数量的批次产品的检测；其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。本发明通过以上方法能够确定是要全部等待检测，还是取消部分数量的批次产品的检测，并且能够确定取消的数量以及批号，从而减少了人为误差，且能够合理的利用机台资源，节约了成本。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种自动处理待检测批次产品的系统及方法。

背景技术

在半导体制造过程中，每完成一个工序，均需要随机或固定抽取一定数量的批次产品(Lot，一个批次的晶圆产品)去进行检测，以确定是否有存在缺陷或者该工序形成的结构尺寸是否满足要求。

但是，当量测站点堆货量达到一定程度时，会直接影响在线生产(inline)的周期时间(cycle time)，从而会直接影响效率。现在当出现堆货现象时，需要人工通过取消部分Lot的检测(skip Lot)来保证机台的合理利用率以及inline的工作效率。

Lot是否能够取消检测，主要是依靠工程师的经验来判断。因此，手动取消Lot的检测(manual skip Lot)会给工程师造成很大的负担(loading)。另外，依靠经验来判断是否skip Lot，会出现人为误差，在很大的程度上影响了inline的正常工作。并且，一旦出现误差，会直接导致无法检出缺陷，从而不能及时反馈到产线，严重时会影响大批量晶圆的良率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自动处理待检测批次产品的系统及方法，减少人为误差，合理利用机台资源，节约成本。

为实现上述目的，本发明提供一种自动处理待检测批次产品的方法，包括：

计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；

计算所述待检测的批次产品的数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值；

若所述差值小于等于0，则返回上述第一个步骤；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量，并进行以下步骤；

判断必须检测的批次产品的数量；

计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；

判断第一数量与第二数量的大小；

若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；

若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；

其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。

可选的，计算机台能够检测的批次产品的数量的方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。

可选的，当所述第一数量小于所述第二数量时，将去除必须检测的批次产品以后剩余的第二数量的批次产品进行风险排序，按照顺序从中选择第一数量的批次产品来取消检测。

可选的，按照批次产品的风险等级以及种类由高到低进行排序。

可选的，在风险排序的批次产品中，从低到高选择第一数量的批次产品取消检测。

相应的，本发明还提供一种自动处理待检测批次产品的系统，包括：计算模块与判断模块，其中